[实用新型]晶棒防坠装置和晶体生长设备

说明书

本实用新型公开了一种晶棒防坠装置和晶体生长设备，晶棒防坠装置适于设在晶体生长装置的副室的底部，以阻挡晶棒坠落，晶棒防坠装置包括：防护盘和连接件。防护盘适于位于副室的正下方，连接件设在防护盘上，连接件的上端适于与副室可拆卸地相连，连接件具有锁定状态和解锁状态，在连接件处在锁定状态时，连接件相对防护盘固定，在连接件处在解锁状态时，连接件相对防护盘可活动或者连接件从所述防护盘上拆下。根据本实用新型实施例的晶棒防坠装置，在副室旋位过程中，该晶棒防坠装置可以阻挡晶棒坠落，方便取棒过程中不干涉、不影响原有取棒驱动的功能，并且该晶棒防坠装置可反复使用。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备领域，尤其是涉及一种晶棒防坠装置和晶体生长设备。

背景技术

在诸如单晶硅的单晶物质制备中，通常的工艺过程为通过电力驱动热场，产生高温，使得坩埚内的多晶材料融化为液态，而后保持恒温，使用直拉法生长出单晶体。

在单晶体的直拉法制备过程中，通常使用软轴或是硬轴作为提拉动力装置，夹持一段籽晶，而后通过此籽晶的引晶、放肩等过程，形成8英寸、12英寸甚至更粗的单晶棒。故而，最终的单晶棒产出物中是与引晶初期投入的籽晶融为一体的。而且，籽晶经过溶液的引晶过程中，会变得更细，通常在10mm以下，然而，整根单晶棒质量一般在 300-450Kg，甚至更重，在拉制结束后，旋出副室取棒的过程中，晶棒颈部(10mm细段)的易断性就带来了很大的晶棒坠落的风险。

综上所述，如何解决晶棒在取棒过程中的防坠落问题，成为了本领域技术人员丞待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种晶棒防坠装置，该晶棒防坠装置在不影响晶体生长装置正常功能的前提下，实现取棒前副室旋位过程的防坠落功能。

本实用新型还提出了一种具有上述晶棒防坠装置的晶体生长设备。

根据本实用新型第一方面实施例的晶棒防坠装置，所述晶棒防坠装置适于设在晶体生长装置的副室的底部，以阻挡晶棒坠落，所述晶棒防坠装置包括：防护盘，所述防护盘适于位于所述副室的正下方；连接件，所述连接件设在所述防护盘上，所述连接件的上端适于与所述副室可拆卸地相连，所述连接件具有锁定状态和解锁状态，在所述连接件处在所述锁定状态时，所述连接件相对所述防护盘固定，在所述连接件处在所述解锁状态时，所述连接件相对所述防护盘可活动或者所述连接件从所述防护盘上拆下。

根据本实用新型实施例的晶棒防坠装置，在需要将生长好的晶棒取下时，可以将该晶棒防坠装置通过连接件连接在晶体生长装置的副室底部，并使得连接件处在锁定状态，从而在副室旋位过程中，该晶棒防坠装置可以阻挡晶棒坠落，在副室旋位完成后，将连接件与副室脱离连接，并通过使得连接件处在解锁状态或是从防护盘上拆下，可以将晶棒取下，方便取棒过程中不干涉、不影响原有取棒驱动的功能，并且该晶棒防坠装置可反复使用。

根据本实用新型的一些实施例，所述连接件为多个，多个所述连接件沿所述防护盘的周向间隔设置且邻近所述防护盘的外周沿。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述连接件的下端与所述防护盘可转动地相连，以使所述连接件的上端可远离和靠近所述防护盘的中心轴线，所述晶棒防坠装置还包括用于将所述连接件锁定在所述锁定状态的锁定件。

在本实用新型的一些可选实施例中，所述防护盘包括防护盘本体和设在所述防护盘本体上的连接柱，所述连接柱的数量与所述连接件的数量相同且一一对应，每个所述连接件的下端与对应的所述连接柱可转动地相连，在所述连接件处在所述锁定状态时，所述锁定件连接所述连接件和所述连接柱。

根据本实用新型的一些可选实施例，多个所述连接件与所述防护盘之间限定出容纳空间，所述副室的底部适于容纳在所述容纳空间内，所述连接件包括连接杆和卡爪，所述卡爪设在所述连接杆的上端，所述连接杆的下端与所述防护盘连接，所述副室上形成有卡槽，所述卡爪的至少一部分适于容纳配合在所述卡槽内。