[实用新型]一种往复镀膜设备

权利要求书

1.一种往复镀膜设备，其特征在于：包括第一存储腔、镀膜腔、第二存储腔、真空泵组和传送机构，所述第一存储腔通过所述镀膜腔与所述第二存储腔连通，所述传送机构依次穿过所述第一存储腔、镀膜腔和第二存储腔，所述第一存储腔的入口设有第一真空隔离阀，所述真空泵组分别与所述第一存储腔和第二存储腔连接。

2.如权利要求1所述的往复镀膜设备，其特征在于：所述第一存储腔内设有第一升降机构，所述第一升降机构包括第一滚珠丝杆、第一升降电机和第一承载板支架，所述第一滚珠丝杆竖直设置于所述第一存储腔中，所述第一升降电机的驱动轴与所述第一滚珠丝杆连接，所述第一承载板支架固定有第一滑动组件，所述第一滑动组件套接于第一滚珠丝杆，所述第一承载板支架可沿所述第一滚珠丝杆上下移动，所述第一承载板支架设有多层承载板。

3.如权利要求2所述的往复镀膜设备，其特征在于：所述第一滚珠丝杆的两侧各设有直线轴承，所述第一承载板支架对应设有直线轴承座，直线轴承座套接于所述直线轴承。

4.如权利要求3所述的往复镀膜设备，其特征在于：所述第二存储腔内设有第二升降机构，所述第二升降机构包括第二滚珠丝杆、第二升降电机和第二承载板支架，所述第二滚珠丝杆竖直设置于所述第二存储腔中，所述第二升降电机的驱动轴与所述第二滚珠丝杆连接，所述第二承载板支架固定有第二滑动组件，所述第二滑动组件套接于第二滚珠丝杆，所述第二承载板支架可沿所述第二滚珠丝杆上下移动，所述第二承载板支架设有多层承载板。

5.如权利要求4所述的往复镀膜设备，其特征在于：所述第二滚珠丝杆的两侧均设有直线轴承，所述第二承载板支架对应设有直线轴承座，直线轴承座套接于所述直线轴承。

6.如权利要求1-5任意一项所述的往复镀膜设备，其特征在于：所述镀膜腔内设有预清洗源、溅射阴极和蒸发组件，所述预清洗源设置于靠近所述第一存储腔的一侧，所述蒸发组件设置于靠近所述第二存储腔的一侧，所述溅射阴极设置于所述预清洗源和所述蒸发组件之间。

7.如权利要求6所述的往复镀膜设备，其特征在于：所述真空泵组包括机械泵和分子泵，所述第一存储腔连接有一个机械泵和分子泵，所述第二存储腔连接有一个机械泵和分子泵。

8.如权利要求7所述的往复镀膜设备，其特征在于：所述传送机构包括成列排布的直排轮和传送驱动电机，所述传送驱动电机通过传送带驱动直排轮。

9.如权利要求8所述的往复镀膜设备，其特征在于：所述传送带为传送皮带或传送链条。

10.如权利要求9所述的往复镀膜设备，其特征在于：所述第二存储腔设有出片口，所述出片口设有第二腔真空隔离阀。