[实用新型]一种往复镀膜设备

说明书

本实用新型提供了一种往复镀膜设备，包括第一存储腔、镀膜腔、第二存储腔、真空泵组和传送机构，所述第一存储腔通过所述镀膜腔与所述第二存储腔连通，所述传送机构依次穿过所述第一存储腔、镀膜腔和第二存储腔，所述第一存储腔的入口设有第一真空隔离阀，所述真空泵组分别与所述第一存储腔和第二存储腔连接。本实用新型的有益效果在于：提供了一种结构合理，具有双储存腔的镀膜设备，通过两个储存腔中的传送机构可将多片基片来回输送，从而实现对基片进行往复镀膜，该镀膜设备装片量大，产能大，经济效益好，镀膜过程中避免了多次抽真空导致浪费时间，有效降低了生产成本，提高了生产效率，增加了企业的竞争力。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是指一种往复镀膜设备。

背景技术

目前大部分的大尺寸基板(长度超过3米)镀膜设备分为卧式连续型镀膜机、立式连续型镀膜机和单体型镀膜机3种，前两种是产品一端进，另一端出的模式，如若需要在产品反复来回镀膜(如：AF/AS蒸发工艺)，那么这两种设备虽然可以实现，但因产能极低，经济型极差不会使用此种镀膜方法。第3种单体型镀膜机为目前大量使用的镀膜设备，其缺点为每炉只能镀制2-3片，且使用人力多、产能低，导致生产成本一直居高不下。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种装片量大、可往复进行多次镀膜的装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种往复镀膜设备，包括第一存储腔、镀膜腔、第二存储腔、真空泵组和传送机构，所述第一存储腔通过所述镀膜腔与所述第二存储腔连通，所述传送机构依次穿过所述第一存储腔、镀膜腔和第二存储腔，所述第一存储腔的入口设有第一真空隔离阀，所述真空泵组分别与所述第一存储腔和第二存储腔连接，

所述第一存储腔和所述第二存储腔均用于暂存基片；

所述真空泵组用于将基片所处的大气环境转变为符合工艺要求的真空环境或将基片所处的真空环境还原为大气环境；

所述镀膜腔用于对处在真空环境下的基片进行镀膜处理；

所述传送机构用于将待处理的基片送入第一存储腔进行储存，及将第一存储腔中的基片逐一输送至镀膜腔进行镀膜处理，及将处理完成的基片送入第二存储腔进行储存，以及将第二存储腔的基片输送回第一存储腔进行存储。

进一步的，所述第一存储腔内设有第一升降机构，所述第一升降机构包括第一滚珠丝杆、第一升降电机和第一承载板支架，所述第一滚珠丝杆竖直设置于所述第一存储腔中，所述第一升降电机的驱动轴与所述第一滚珠丝杆连接，所述第一承载板支架固定有第一滑动组件，所述第一滑动组件套接于第一滚珠丝杆，所述第一承载板支架可沿所述第一滚珠丝杆上下移动，所述第一承载板支架设有多层承载板。

进一步的，所述第一滚珠丝杆的两侧各设有直线轴承，所述第一承载板支架对应设有直线轴承座，直线轴承座套接于所述直线轴承。

进一步的，所述第二存储腔内设有第二升降机构，所述第二升降机构包括第二滚珠丝杆、第二升降电机和第二承载板支架，所述第二滚珠丝杆竖直设置于所述第二存储腔中，所述第二升降电机的驱动轴与所述第二滚珠丝杆连接，所述第二承载板支架固定有第二滑动组件，所述第二滑动组件套接于第二滚珠丝杆，所述第二承载板支架可沿所述第二滚珠丝杆上下移动，所述第二承载板支架设有多层承载板。

进一步的，所述第二滚珠丝杆的两侧均设有直线轴承，所述第二承载板支架对应设有直线轴承座，直线轴承座套接于所述直线轴承。

进一步的，所述镀膜腔内设有预清洗源、溅射阴极和蒸发组件，所述预清洗源设置于靠近所述第一存储腔的一侧，所述蒸发组件设置于靠近所述第二存储腔的一侧，所述溅射阴极设置于所述预清洗源和所述蒸发组件之间。

进一步的，所述真空泵组包括机械泵和分子泵，所述第一存储腔连接有一个机械泵和分子泵，所述第二存储腔连接有一个机械泵和分子泵。