[实用新型]热差压流量传感器

说明书

本实用新型提供了一种热差压流量传感器，其包括壳体、传感集成组件以及层流元件；壳体内设有导气道，导气道的两端分别对应连通进气道和出气道，进气道的另一端连通用于输气的管道，以将管道内流通的气流引入导气道；出气道另一端与管道连通，以将导气道内的气体排出至管道；层流元件设置于管道内，用于改变该管道气体流通路径上的部分气体的流向，将该部分气体导入进气道；传感集成组件设置于导气道内，其包括两个沿导气道流通路径顺次设置的、用于检测气体温度的热敏电阻，该传感集成组件将该两个热敏电阻之间的温度差值转换为气压信息输出。热差压流量传感器通过导气道、进气道及出气道从管道内引入和回输气体，传感集成组件检测管道气体气压。

技术领域

本实用新型属于传感测量技术领域，具体涉及一种热差压流量传感器。

背景技术

随着传感技术的急速的发展，对管道气流的准确检测是输气技术的指标。目前，大多使用差压传感器检测管道内的气流流量，实现对管道气流流量的检测。但是，现有的差压传感器主要通过两个压力芯片，采集其两端的压力数据，通过处理芯片对采集的数据进行处理，转化输出气体流量或压力信息。但是，由于压力芯片的测量量程通常偏高，无法测量微小压差的变化。且，差压传感器波动度通常较大，在测量微小压力差时波动干扰比传感器信号还大，从而使得普通的差压传感器无法应用于微小的压力差的应用场景。

但是，在某些场景需要对微小的管道气流压差测量，以实现精确的控制。例如，为病人的输气、精密制造和化学实验等等场景中需要精确的检测气流压差，以实现精确控制。

由此，业内亟需一种可精确测量管道压差的流量传感器，以精确测量微小压差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用精准测量气流压差的热差压流量传感器。

适应于本实用新型的目的，本实用新型采用如下技术方案：

适于本实用新型的目的而提供一种热差压流量传感器，其包括壳体、传感集成组件以及层流元件；

壳体内设有导气道，导气道的两端分别对应连通进气道和出气道，进气道的另一端连通用于输气的管道，以将管道内流通的气流引入导气道；出气道另一端与管道连通，以将导气道内的气体排出至管道；

层流元件设置于管道内，用于改变该管道气体流通路径上的部分气体的流向，将该部分气体导入进气道；

传感集成组件设置于导气道内，其包括两个沿导气道流通路径顺次设置的、用于检测气体温度的热敏电阻，该传感集成组件将该两个热敏电阻之间的温度差值转换为气压信息输出。

进一步的，所述传感集成组件还包括惠斯通电桥，所述惠斯通电桥用于检测所述两个热敏电阻的电压输出差压信号。

进一步的，所述两个热敏电阻分别为第一热敏电阻和第二热敏电阻，第一热敏电阻和第二热敏电阻并联设置。

具体的，所述传感集成组件还包括与第一热敏电阻和第二热敏电阻并联的加热电阻，该加热电阻用于加热流入导气道的气体温度，以为第一热敏电阻和第二热敏电阻提供高温工作环境。

进一步的，所述进气道对应在管道上开设有导气口，所述出气道对应在管道上开设有排气口，管道内的气体从导气口方向流向排气口方向。

进一步的，所述层流元件设置于管道的内圆周上，所述层流元件设置于导气口和排气口之间。

较佳的，所述层流元件呈圆环状或栅栏状或导气槽状。

优选的，所述导气道包括与进气道连通的进气口和与出气道连通的出气口，导气道包括在靠近其进气口和出气口处分别设置的迂回部以及连通两个迂回部的直通部，整个导气道对称设置。

进一步的，所述迂回部设置一拐角，该拐角至少一个截面的面积大于所述直通部的任意截面的面积。