[发明专利]用于在粉末颗粒形态的材料沉积薄膜层的化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种化学气相沉积设备，是在粉末颗粒形态的材料形成薄膜层的化学气相沉积设备(100)，包括：

反应管(200)，装入材料以执行沉积；

加热部(300)，对所述反应管(200)施加热；

隔热部(400)，位于所述反应管(200)及加热部(300)的外侧；

气体供应管(600)，向所述反应管(200)内供应气体；

气体排放管(700)，向外部排放所述反应管(200)内部的气体；

其中，所述反应管(200)构成为可旋转地配置在工作台(500)上以在进行旋转的同时执行沉积；

所述反应管(200)构成为具备在中心部具有扩张的容纳空间的腔室部(230)，以在所述腔室部(230)装入材料执行沉积。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述反应管(200)构成为包括：位于中心部的腔室部(230)、位于所述腔室部(230)一侧的第一圆柱部(210)、位于所述腔室部(230)另一侧的第二圆柱部(220)。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述腔室部(230)构成为包括：具有比第一圆柱部(210)及第二圆柱部(220)更加扩张的内径的直径扩张部(240)、位于直径扩张部(240)的两侧端部的第一倾斜部(250)及第二倾斜部(260)。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述加热部(300)形成为从外侧包围装入材料的反应管(200)的腔室部(230)的形态。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述加热部(300)构成为被区划成多个区域，独立控制各个区域的加热部以对腔室部(230)施加热。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述加热部(300)包括：针对腔室部(230)的直径扩张部(240)所在的第一区域(Z1)施加热的第一加热部(310)；针对腔室部(230)的第一倾斜部(250)所在的第二区域(Z2)施加热的第二加热部(320)；针对腔室部(230)的第二倾斜部(260)所在的第三区域(Z3)施加热的第三加热部(330)；

所述第一加热部(310)、第二加热部(320)及第三加热部(330)构成为基于各个区域的温度被独立控制。

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述隔热部(400)形成为从外侧包围所述反应管(200)的腔室部(230)及加热部(300)的形态。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

在所述反应管(200)的腔室部(230)内周面具有向半径方向内侧凸出形成并且沿着腔室部(230)的长度方向延伸的刀片(270)，所述刀片(270)为沿着腔室部(230)的圆周方向具备一个以上。

9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

在所述反应管(200)的两侧端部具备盖部(280)。

10.根据权利要求9所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述盖部(280)形成为包括位于一侧的塞部(282)和从所述塞部(282)沿着长度方向延伸的延伸部(284)；

所述盖部(280)的延伸部(284)构成为插入到所述反应管(200)内进行安装。

11.根据权利要求9或10所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述盖部(280)形成为在内部具有空置空间部。