[发明专利]化学镀铜浴有效

专利信息
申请号: 202080003242.X 申请日: 2020-02-13
公开(公告)号: CN112534082B 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 高田英明;中山智晴;山本久光;小田幸典 申请(专利权)人: 上村工业株式会社
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40;H05K3/18
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 金杨;李雪
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 化学 镀铜
【权利要求书】:

1.一种化学镀铜浴,其特征在于:其含有肼化合物作为还原剂、不含甲醛、pH值为5~10,

该化学镀铜浴至少含有胺类络合剂与氨基羧酸类络合剂,

所述胺类络合剂为选自三亚甲基二胺、二亚丙基三胺、2-氨甲基吡啶以及2,6-吡啶二羧酸中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的化学镀铜浴,其特征在于:

所述氨基羧酸类络合剂为选自乙二胺四乙酸、次氮基三乙酸、二亚乙基三胺五乙酸、羟乙基乙二胺三乙酸、三亚乙基四胺六乙酸、1,3-丙二胺四乙酸、1,3二氨基-2-羟基丙烷四乙酸、羟乙基亚氨基二乙酸、二羟乙基甘氨酸、乙二醇醚二氨基四乙酸、二羧基甲基谷氨酸、乙二胺-N,N'-二琥珀酸、以及NNN'N'-四-(2-羟丙基)乙二胺中的至少一种。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的化学镀铜浴,其特征在于:

该化学镀铜浴中进一步含有羧酸类络合剂。

4.根据权利要求3所述的化学镀铜浴,其特征在于:

所述羧酸类络合剂为选自单羧酸、二羧酸以及氧代羧酸中的至少一种。

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