[发明专利]搬运系统、搬运方法以及搬运装置

权利要求书

1.一种搬运系统，其特征在于，

该搬运系统具备搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，所述搬运室在减压气氛下搬运所述基板，

所述搬运室具备：

多个机器人，它们固定在所述搬运室内，对所述基板进行搬运；以及

移动式缓冲器，其对所述基板进行保持，在所述侧壁和所述机器人之间沿着所述侧壁在水平方向上移动，

所述机器人通过与所述移动式缓冲器的移动进行协作，在所述移动式缓冲器和所述处理室之间进行所述基板的交接。

2.根据权利要求1所述的搬运系统，其特征在于，

所述搬运室在侧壁设置有使内压在减压气氛和大气压气氛之间变动的装载锁定室，

多个所述机器人中的至少一个在所述移动式缓冲器与所述处理室或所述装载锁定室之间进行所述基板的交接。

3.根据权利要求1或2所述的搬运系统，其特征在于，

从所述机器人观察，所述移动式缓冲器能够停止在所述侧壁的正面。

4.根据权利要求1、2或3所述的搬运系统，其特征在于，

所述搬运室具备固定在所述搬运室内的轨道，

所述移动式缓冲器具备：

保持组件，其对所述基板进行保持；以及

驱动组件，其对应于线性马达中的移动件，

所述驱动组件由所述轨道中包含的定子以非接触方式驱动。

5.根据权利要求4所述的搬运系统，其特征在于，

所述保持组件具备以上下两层对所述基板进行保持的保持部。

6.根据权利要求4或5所述的搬运系统，其特征在于，

所述侧壁俯视为直线状，分别设置有沿水平方向排列的多个所述处理室，

多个所述机器人沿着所述处理室的排列方向设置，

所述轨道固定在与所述机器人相比更靠近所述侧壁的位置，是沿所述排列方向的直线轨道。

7.根据权利要求6所述的搬运系统，其特征在于，

所述直线轨道在两端中的至少一端具有向远离所述侧壁的方向弯曲的弯曲部。

8.根据权利要求6或7所述的搬运系统，其特征在于，

所述搬运室俯视为矩形形状，具备：

与矩形的长边对应的所述侧壁即第一侧壁和第二侧壁；

设置在所述第一侧壁与所述机器人之间的所述直线轨道即第一直线轨道；以及

设置在所述第二侧壁与所述机器人之间的所述直线轨道即第二直线轨道。

9.根据权利要求8所述的搬运系统，其特征在于，

所述搬运室具备将所述第一直线轨道及所述第二直线轨道的一端彼此连接起来的第一曲线轨道。

10.根据权利要求9所述的搬运系统，其特征在于，

所述搬运室具备将所述第一直线轨道和所述第二直线轨道的另一端彼此连接起来的第二曲线轨道。

11.根据权利要求4～10中的任意一项所述的搬运系统，其特征在于，

针对一个所述轨道设置有多个所述移动式缓冲器，它们能够分别独立地移动。

12.根据权利要求4～10中的任意一项所述的搬运系统，其特征在于，

针对一个所述轨道设置有多个所述移动式缓冲器，它们相互连结。

13.根据权利要求4～10中的任意一项所述的搬运系统，其特征在于，

所述移动式缓冲器具备：

两个所述保持组件；以及

一个所述驱动组件，

所述保持组件分别连结于所述驱动组件的水平方向的两端。