[发明专利]搬运系统、搬运方法以及搬运装置

说明书

搬运系统具有搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，该搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：固定在搬运室内，搬运基板的多个机器人；和移动式缓冲器。移动式缓冲器保持基板，在侧壁与机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。机器人通过与移动式缓冲器的移动进行协作而在移动式缓冲器与处理室之间进行基板的交接。

技术领域

公开的实施方式涉及搬运系统、搬运方法以及搬运装置。

背景技术

以往，已知一种搬运系统，其将具有对基板进行保持的手部的机器人配置在减压气氛的搬运室内，并向设置于搬运室的侧壁的处理室搬运基板。

例如，提出了一种基板处理装置，该基板处理装置利用移动式机器人向设置于搬运室的侧壁的多个处理室搬运基板，其中该移动式机器人通过线性马达的驱动在搬运室内移动(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-028179号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在上述现有技术中，担心由于使机器人为移动式而导致的成本增加、以及由于移动机构的复杂化而导致的可用性降低。当可用性降低时，其结果是，基板的搬运效率降低，因此，从提高处理前的基板和处理后的基板的搬运效率的观点出发，存在改进的余地。

实施方式的一个方式的目的在于，提供一种能够提高基板的搬运效率的搬运系统、搬运方法以及搬运装置。

用于解决技术问题的手段

实施方式的一个方面的搬运系统具备搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，所述搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：多个机器人，它们固定在搬运室内，对基板进行搬运；以及移动式缓冲器。移动式缓冲器对基板进行保持，在侧壁和机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。机器人通过与移动式缓冲器的移动进行协作，在移动式缓冲器和处理室之间进行基板的交接。

实施方式的一个方面的搬运方法使用搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，所述搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：多个机器人，它们固定在搬运室内，对基板进行搬运；以及移动式缓冲器。移动式缓冲器对基板进行保持，在侧壁和机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。进而，实施方式的一个方式的搬运方法通过使机器人和移动式缓冲器的移动协作，在移动式缓冲器和处理室之间进行基板的交接。

实施方式的一个方面的搬运装置具备多个机器人、移动式缓冲器和控制器。机器人固定于搬运室内，对基板进行搬运，在所述搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，在减压气氛下搬运基板。移动式缓冲器对基板进行保持，在搬运室内，在侧壁与机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。控制器通过使机器人和移动式缓冲器的移动协作，在移动式缓冲器和处理室之间进行基板的交接。

发明效果

根据实施方式的一个方面，能够提供一种能够提高基板的搬运效率的搬运系统、搬运方法以及搬运装置。

附图说明

图1是示出实施方式的搬运系统的概要的俯视示意图。

图2A是表示装载锁定室的配置例之一的俯视示意图。

图2B是表示装载锁定室的配置例之二的俯视示意图。

图3是实施方式的搬运系统的俯视示意图。

图4是机器人和移动式缓冲器的侧视示意图。

图5A是表示机器人的结构例之一的俯视示意图。

图5B是表示机器人的结构例之二的俯视示意图。