[发明专利]蚀刻液在审
| 申请号： | 202080005184.4 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN112739852A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 着能真;白滨祐二;妹尾骏作 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26;C23F1/44 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 | ||
1.一种蚀刻液，其特征在于，其由过氧化氢、有机酸、胺类、唑类、过氧化氢分解抑制剂和水构成，
所述有机酸为选自乙醇酸、乳酸、草酸、丙二酸、马来酸、琥珀酸、苹果酸、柠檬酸、天冬氨酸、谷氨酸中的3种以上的混合物。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述3种以上的有机酸的混合物的总和相对于蚀刻液总量大于0.3质量％且小于16质量％。
3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液，其特征在于，所述有机酸相对于蚀刻液总量分别为0.5质量％以上且小于14.5质量％。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述胺类为选自NNDPA(N,N-二乙基-1,3-二氨基丙烷)、PEHA(五乙烯六胺)和PMDETA(五甲基二乙烯三胺)中的1种以上，
所述胺类的总量相对于所述蚀刻液总量为0.01质量％～10.0质量％。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述过氧化氢分解抑制剂为选自乙二醇单丁基醚、苯基脲、1-丙醇和对苯酚磺酸中的1种以上，
所述过氧化氢分解抑制剂相对于所述蚀刻液总量为0.01质量％～3.0质量％。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述唑类为选自3-氨基-1,2,4-三唑、5-甲基-1H-苯并三唑、5-氨基-1H-四唑、1H-咪唑中的1种以上，
所述唑类相对于所述蚀刻液总量为0.001质量％～0.1质量％。
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