[发明专利]电子元件的电气验证

权利要求书

1.一种元件安装机，包括：

用于从电子元件源拾取电子元件并将它们放置在工件上的拾取工具；

用于测量由拾取工具拾取和保持的电子元件的电气特性的验证单元；其中

验证单元包括板、布置在所述板的表面上的多个测试电极、以及在拾取的电子元件与所述测试电极之中的至少两个之间接触时用于测量来自测试电极的输出信号的系统；

并且其中至少一个测试电极布置在板的柔性部分上，该柔性部分配置为在拾取的电子元件与所述至少两个测试电极之间接合时弯曲，

其中，至少一个柔性部分由板中的狭缝和板的至少一个铰链部分限定，其中所述至少一个铰链部分配置为用作柔性部分的枢轴点。

2.如权利要求1所述的元件安装机，其中，至少一个铰链部分包括比柔性部分薄的段。

3.如权利要求1或2所述的元件安装机，其中，至少一个测试电极是四侧面型的，并且其中狭缝围绕所述四个侧面之中的至少三个。

4.如权利要求1所述的元件安装机(1)，其中，所述板包括布置为彼此独立地弯曲的多个柔性部分。

5.如权利要求1所述的元件安装机(1)，其中，所述多个测试电极布置为群集，每个群集中有至少两个测试电极。

6.如权利要求4或5所述的元件安装机，其中，布置在各个柔性部分上的测试电极的尺寸设计为使得电子元件的不同引脚可与群集的不同测试电极接触。

7.如权利要求4或5所述的元件安装机(1)，其中，所述板包括不同类型的群集，并且其中所述不同类型的群集布置在板上以与不同类型的电子元件接触。

8.如权利要求1所述的元件安装机，其中，所述板的柔性部分配置为在以1-1.5牛的接合力与拾取的电子元件接合时弯曲至少0.1毫米。

9.一种用于测量电子元件的电气特性的方法，包括以下步骤：

a)使用如权利要求1所述的元件安装机(1)中的拾取工具拾取电子元件，

b)使用元件安装机的验证单元测量由拾取工具拾取和保持的电子元件的至少一种电气特性。

10.一种用于测试电子元件的电气特性的板，所述板包括：

布置在所述板的第一表面上的多个测试电极，其中至少一个测试电极布置在板的柔性部分上，该柔性部分配置为在与待测试的电子元件接合时弯曲，其中，至少一个柔性部分由板中的狭缝和板的至少一个铰链部分限定，其中所述至少一个铰链部分配置为用作柔性部分的枢轴点。

11.一种用于制造如权利要求10所述的板的方法，其中，至少一个柔性部分由板中的狭缝和板的至少一个铰链部分限定，所述方法包括以下步骤：

a1)在所述板中围绕测试电极的至少一侧形成狭缝，从而形成所述柔性部分和至少一个铰链部分。

12.如权利要求11所述的方法，还包括形成比柔性部分薄的铰链部分的段的步骤，其中所述在其上布置有测试电极的表面是所述板的前表面，并且所述比柔性部分薄的段形成为板的背面上的切口。

13.如权利要求11或12所述的方法，其中，所述步骤a1)是通过激光切割或喷水切割进行的。