[发明专利]溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法

权利要求书

1.溅射靶，其具备：

背板；和

靶材，其借助接合材料而接合于所述背板的接合区域，

其中，所述靶材与所述背板之间的接合部位的接合面积相对于所述接合区域的面积而言为97％以上，

所述靶材与所述背板之间的不存在接合材料的部位的最大缺陷面积相对于所述接合区域的面积而言为0.6％以下。

2.根据权利要求1所述的溅射靶，其中，所述靶材的长度为1000mm以上且4000mm以下。

3.接合方法，其是利用接合材料将靶材与背板接合的方法，所述接合方法具备：

将接合材料涂布于所述背板的主面中的要接合所述靶材的接合区域的工序；

以所述靶材的端缘从所述背板的所述接合区域的第1端缘侧移动至超过所述背板的所述接合区域中的在第1方向上与所述第1端缘相对的第2端缘的位置为止的方式，使所述靶材沿着所述背板的所述主面在所述第1方向上滑行移动的工序；和

使所述靶材沿着所述背板的所述主面在与所述第1方向呈相反方向的第2方向上滑行移动，从而使所述靶材与所述背板的所述接合区域一致的工序。

4.根据权利要求3所述的接合方法，其中，所述靶材及所述背板形成为长条形，

所述靶材的所述端缘沿着所述靶材的长边方向形成，

所述背板的所述接合区域的所述第1端缘及所述第2端缘沿着所述背板的长边方向形成，且在所述背板的短边方向上相对，

使所述靶材相对于所述背板在所述背板的短边方向上滑行移动。

5.根据权利要求3或4所述的接合方法，其具备：在所述接合材料的涂布工序之前，将多根线配置于所述背板的所述主面上的工序，

在所述靶材的所述第1方向及所述第2方向的移动中，使所述靶材在所述线上滑行移动。

6.根据权利要求5所述的接合方法，其中，所述线的直径为0.05mm以上且0.5mm以下。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的接合方法，其具备：在所述靶材的所述第1方向的移动工序与所述靶材的所述第2方向的移动工序之间，在所述背板的所述接合区域的所述第1端缘侧补充接合材料的工序。

8.根据权利要求3至7中任一项所述的接合方法，其中，在所述靶材的所述第1方向的移动工序中，在将所述靶材的所述端缘移动至超过所述背板的所述接合区域的所述第2端缘的位置时，若将从所述背板的所述接合区域的所述第2端缘至所述靶材的所述端缘为止的所述第1方向的距离设为A，将所述接合区域的所述第1方向的宽度设为W，则0.03≤A/W1.0。

9.根据权利要求3至7中任一项所述的接合方法，其中，在所述靶材的所述第1方向的移动工序中，在将所述靶材的所述端缘配置于所述背板的所述接合区域的所述第1端缘侧时，若将从所述背板的所述接合区域的所述第1端缘至所述靶材的所述端缘为止的所述第1方向的距离设为B，将所述接合区域的所述第1方向的宽度设为W，则0≤B/W2.0。

10.溅射靶的制造方法，其使用权利要求3至9中任一项所述的接合方法将所述靶材与所述背板接合而制造溅射靶。