[发明专利]溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法

说明书

本发明的课题是提供靶材不易剥离的溅射靶。本发明的溅射靶具备：背板；和靶材，其借助接合材料而接合于所述背板的接合区域，其中，所述靶材与所述背板之间的接合部位的接合面积相对于所述接合区域的面积而言为97％以上，所述靶材与所述背板之间的不存在接合材料的部位的最大缺陷面积相对于所述接合区域的面积而言为0.6％以下。

技术领域

本发明涉及溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法。

背景技术

作为以往的溅射靶的接合方法，可举出日本特开平6-114549号公报(专利文献1)中记载的接合方法。在该溅射靶的接合方法中，在靶材和背板分别形成熔融钎料被覆，使靶材和背板一边相互摩擦一边相对地移动来重叠，由此，将在被覆表面产生的氧化物挤出，在不掺入氧化物、气泡的状态下使钎料被覆合体，然后，使钎料冷却、凝固来进行钎焊。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平6-114549号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，已知在上述现有的溅射靶的接合方法中，存在靶材与背板的接合不充分，在溅射中产生靶材的剥离的担心。本申请的发明人进行了深入研究，结果着眼于在现有方法中，相对于要将靶材与背板接合的区域(接合区域)的面积而言，实际接合的面积(接合面积)的比例(接合率)小，而且位于靶材与背板之间的不存在接合材料的部位(未接合部位)之中，面积成为最大的部位的面积(最大缺陷面积)大，从而发现了接合率及最大缺陷面积与靶材的剥离之间存在关系。

因此，本发明的课题在于，提供能够实现在溅射中靶材不易剥离的溅射靶的溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，溅射靶的一个实施方式具备：

背板；和

靶材，其借助接合材料而接合于所述背板的接合区域(背板中的要接合靶材的区域)，

其中，所述靶材与所述背板之间的接合部位(已接合的部位)的接合面积相对于所述接合区域的面积而言为97％以上，

所述靶材与所述背板之间的未接合部位的最大缺陷面积相对于所述接合区域的面积而言为0.6％以下。

根据前述实施方式，能够制造能提高接合率、且能减小最大缺陷面积、靶材不易剥离的溅射靶。

另外，在溅射靶的一个实施方式中，所述靶材的长度为1000mm以上、4000mm以下。

根据前述实施方式，能够制造在长条形的溅射靶中靶材也不易剥离的溅射靶。

另外，将靶材与背板接合的方法的一个实施方式是利用接合材料将靶材与背板接合的方法，其具备：

将接合材料涂布于所述背板的主面中的要接合所述靶材的区域(接合区域)的工序；

以所述靶材的端缘(第一端缘)从所述背板的所述接合区域的第1端缘侧移动至超过所述背板的所述接合区域中的在第1方向上与所述第1端缘相对的第2端缘的位置为止的方式，使所述靶材沿着所述背板的所述主面在所述第1方向上滑行移动的工序；和

使所述靶材沿着所述背板的所述主面在与所述第1方向呈相反方向的第2方向上滑行移动，从而使所述靶材与所述背板的所述接合区域一致的工序。

以下，亦将使靶材在第1方向上滑行移动称为“滑动”，亦将使靶材在第2方向上滑行移动称为“反向滑动”。