[发明专利]光模块、信号处理系统和信号处理方法

权利要求书

1.一种光模块，其包括：

反射镜器件，其具有：基座；包含反射镜面的可动反射镜；连接于所述基座和所述可动反射镜之间，且以所述可动反射镜可沿着与所述反射镜面交叉的方向移动的方式支承所述可动反射镜的弹性支承部；设置于所述基座且包含多个第一梳齿的第一梳齿电极；和设置于所述可动反射镜和所述弹性支承部中的至少一者，且包含与所述多个第一梳齿相互交错地配置的多个第二梳齿的第二梳齿电极；

至少一个固定反射镜；

至少一个分束器，其与所述可动反射镜和所述至少一个固定反射镜一起构成干涉光学系统；

第一光检测器，其检测从所述干涉光学系统出射的测定光的干涉光；

第二光检测器，其检测从所述干涉光学系统出射的激光的干涉光；和

信号处理部，其与所述反射镜器件、所述第一光检测器和所述第二光检测器分别电连接，

所述信号处理部具有：

电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有在所述反射镜器件中用于使所述可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于所述第一梳齿电极与所述第二梳齿电极之间；和

强度获取部，其实施强度获取处理，该强度获取处理中，在所述电压信号中连续的P周期(P：2以上的整数)中的多个周期的各个周期内，以基于所述频率的第一时间间隔，获取M次(M：2以上的整数)所述测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的所述测定光强度的相加值，并且在所述多个周期的各个周期内，以基于所述频率的第二时间间隔，获取N次(N：2以上的整数)所述激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的所述激光强度的相加值。

2.根据权利要求1所述的光模块，其中，

所述强度获取部实施第一强度获取处理和第二强度获取处理中的至少一者作为所述强度获取处理，

所述第一强度获取处理是如下处理，即：在所述电压信号中连续的P周期(P：4以上的整数)中的第奇数个周期的各个周期内，以所述第一时间间隔，获取所述M次的第一测定光强度作为所述测定光强度，且获取相互对应的同一次的所述第一测定光强度的相加值，并且在所述第奇数个周期的各个周期内，以所述第二时间间隔，获取所述N次的第一激光强度作为所述激光强度，且获取相互对应的同一次的所述第一激光强度的相加值，

所述第二强度获取处理是如下处理，即：在所述P周期(P：4以上的整数)中的第偶数个周期的各个周期内，以所述第一时间间隔，获取所述M次的第二测定光强度作为所述测定光强度，且获取相互对应的同一次的所述第二测定光强度的相加值，并且在所述第偶数个周期的各个周期内，以所述第二时间间隔，获取所述N次的第二激光强度作为所述激光强度，且获取相互对应的同一次的所述第二激光强度的相加值。

3.根据权利要求2所述的光模块，其中，

还包括具有第一存储区域和第二存储区域中的至少一者的存储部，

所述第一存储区域是在实施所述第一强度获取处理的情况下，针对每个周期，将在所述第奇数个周期的各个周期内获取的所述第一测定光强度和所述第一激光强度各者累计起来或平均化后所存储的区域，

所述第二存储区域是在实施所述第二强度获取处理的情况下，针对每个周期，将在所述第偶数个周期的各个周期内获取的所述第二测定光强度和所述第二激光强度各者累计起来或平均化后所存储的区域。

4.根据权利要求3所述的光模块，其中，

所述存储部还具有第三存储区域，

所述第三存储区域是在实施所述第一强度获取处理的情况下，对在所述P周期(P：4以上的整数)中的最新的1周期内获取的所述第一测定光强度和所述第一激光强度各者进行存储直到向所述第一存储区域转发为止，且在实施所述第二强度获取处理的情况下，对在所述P周期(P：4以上的整数)中的最新的1周期内获取的所述第二测定光强度和所述第二激光强度各者进行存储直到向所述第二存储区域转发为止的区域。