[发明专利]光模块、信号处理系统和信号处理方法

说明书

光模块的信号处理部具有：电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有用于使可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于反射镜器件；强度获取部，其实施强度获取处理。强度获取处理是如下处理，即：在电压信号中连续的P周期中的多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第一时间间隔，获取M次测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的测定光强度的相加值，并且在该多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第二时间间隔，获取N次激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的激光强度的相加值。

技术领域

本公开涉及光模块、信号处理系统和信号处理方法。

背景技术

作为傅里叶变换型频谱分析用的信号处理方法，专利文献1中记载有如下方法，即：在由干涉仪生成的表示单色光的干涉光的强度的信号与基准电压交叉的时刻，根据由干涉仪生成的表示被测定光的干涉光的强度的信号获取多个测定数据，一边在中心脉冲串的位置对由该多个测定数据形成的多个干涉图进行对位，一边进行累计。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-250127号公报

发明内容

发明要解决的问题

在专利文献1记载的信号处理方法中，为了累计多个干涉图，需要在中心脉冲串的位置进行对位，所以难以在短时间内实施傅里叶变换型频谱分析。

本公开的目的在于，提供一种能够在短时间内实施傅里叶变换型频谱分析的光模块、信号处理系统和信号处理方法。

用于解决问题的技术手段

本公开的一方面的光模块包括：反射镜器件，其具有：基座；包含反射镜面的可动反射镜；连接于基座和可动反射镜之间，且以可动反射镜可沿着与反射镜面交叉的方向移动的方式支承可动反射镜的弹性支承部；设置于基座且包含多个第一梳齿的第一梳齿电极；和设置于可动反射镜和弹性支承部中的至少一者，且包含与多个第一梳齿相互交错地配置的多个第二梳齿的第二梳齿电极；至少一个固定反射镜；至少一个分束器，其与可动反射镜和至少一个固定反射镜一起构成干涉光学系统；第一光检测器，其检测从干涉光学系统出射的测定光的干涉光；第二光检测器，其检测从干涉光学系统出射的激光的干涉光；和信号处理部，其与反射镜器件、第一光检测器和第二光检测器分别电连接，信号处理部具有：电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有在反射镜器件中用于使可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于第一梳齿电极与第二梳齿电极之间；和强度获取部，其实施强度获取处理，该强度获取处理中，在电压信号中连续的P周期(P：2以上的整数)中的多个周期的各个周期内，以基于频率的第一时间间隔，获取M次(M：2以上的整数)测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的测定光强度的相加值，并且在多个周期的各个周期内，以基于频率的第二时间间隔，获取N次(N：2以上的整数)激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的激光强度的相加值。

在该光模块中，控制电压信号，以使具有在反射镜器件中用于使可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于第一梳齿电极和第二梳齿电极之间。该电压信号的频率理想的是可动反射镜的谐振频率的2倍值。因此，通过在电压信号中连续的P周期中的多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第一时间间隔，获取M次测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的测定光强度的相加值，能够容易且高精度地针对可动反射镜移动时的每个同一位置，获取测定光强度的相加值。同样，通过在该多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第二时间间隔，获取N次激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的激光强度的相加值，能够容易且高精度地针对可动反射镜移动时的每个同一位置，获取激光强度的相加值。因而，该光模块能够在短时间实施傅里叶变换型频谱分析。