[发明专利]透气性覆板和使用其的方法

权利要求书

1.一种覆板，包括：

主体，其中所述主体包括接触表面；和

在所述主体的接触表面上的无定形含氟聚合物层，其中所述无定形含氟聚合物层可渗透原子质量大于4的气体。

2.根据权利要求1所述的覆板，其中所述无定形含氟聚合物包括二氧戊烷环。

3.根据权利要求1所述的覆板，其中所述无定形含氟聚合物包括全氟间二氧杂环戊烯四氟乙烯共聚物。

4.根据权利要求1所述的覆板，其中所述无定形含氟聚合物包括全氟(3-丁烯基乙烯基醚)。

5.根据权利要求1所述的覆板，其中所述主体包括所述接触表面和所述无定形含氟聚合物层之间的烃聚合物层。

6.根据权利要求5所述的覆板，其中所述烃聚合物层包括聚三甲基甲硅烷基丙炔、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯聚合物、聚酰亚胺、以及它们的任何组合。

7.根据权利要求1所述的覆板，其中所述无定形含氟聚合物层具有至少20mN/m且不超过40mN/m的临界表面张力。

8.根据权利要求1所述的覆板，其中所述无定形含氟聚合物层包括：

-(CXY—CF2-)a—(-Z-)b-；

其中X和Y包括F、Cl或H；和

Z包含含有至少一个C-O-C键的四(4)、五(5)或六(6)元碳氟化合物环结构。

9.根据权利要求1所述的覆板，其中所述无定形含氟聚合物层可渗透氮、氧和氩。

10.根据权利要求1所述的覆板，其中所述无定形含氟聚合物层包括大于1.0×10^-10cm3*cm/cm2*S*cmHg的氧渗透系数。

11.一种平坦化方法，包括：

在基板上分配平坦化前体材料，其中所述基板包括不均匀的表面形貌；

使所述平坦化前体材料与覆板接触，其中所述覆板包括：

主体，其中所述主体包括接触表面；和

在所述主体的接触表面上的无定形含氟聚合物层，其中所述无定形含氟聚合物层可渗透原子质量大于4的气体；和

固化所述平坦化前体材料以在基板上形成平坦化层，其中在使所述覆板接触所述平坦化前体材料的同时进行固化。

12.根据权利要求11所述的方法，还包括在使所述平坦化前体材料与所述覆板的主体接触之前使气体流动。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述气体包括氧气、氮气、氩气或其任何组合。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述非活性气体不包括氦。

15.根据权利要求11所述的方法，其中所述无定形含氟聚合物包含二氧戊烷环。

16.根据权利要求11所述的方法，其中所述无定形含氟聚合物包括全氟间二氧杂环戊烯四氟乙烯共聚物。

17.根据权利要求10所述的方法，其中所述无定形含氟聚合物是全氟(3-丁烯基乙烯基醚)的聚合物或共聚物。

18.根据权利要求11所述的方法，其中所述无定形含氟聚合物层可渗透氮、氧和氩。

19.根据权利要求11所述的方法，其中所述无定形含氟聚合物层包括大于1.0×10^-10cm3*cm/cm2*S*cmHg的氧渗透系数。

20.一种制品的制造方法，包括：

在基板上沉积可成形材料；

用覆板接触所述基板上的可成形材料以形成平面层，其中所述覆板包括：

主体，其中所述主体包括接触表面；和

在所述主体的接触表面上的无定形含氟聚合物层，其中所述无定形含氟聚合物层可渗透原子质量大于4的气体；

将所述覆板与所述基板上的平面层分离；

处理其上已形成了平面层的基板；和

由处理过的基板制造制品。