[发明专利]电子系统、加速度计、校准方法、光刻设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种用于具有压电元件和第一机械共振频率的加速度计的电子系统，所述电子系统包括：

a)阻尼电路，所述阻尼电路被配置成：

-接收来自所述压电元件的加速度信号；

-以电学方式使所述第一机械共振频率的振幅减幅；以及

-产生经减幅的加速度信号，

b)扩展器，所述扩展器被配置成：

-接收所述经减幅的加速度信号；

-扩展所述频率响应；以及

-输出经扩展的经减幅的加速度信号，

其中所述扩展器被配置成具有与经减幅的第一机械共振频率相匹配的第一电子反共振频率，并且被配置成具有介于所述第一电子反共振频率与更高的第二频率之间的、与所述加速度计和所述阻尼电路的组合的相对应的频率响应大致相反的频率响应。

2.根据权利要求1所述的电子系统，还包括待被连接至所述压电元件以接收所述加速度信号的输入件、以及用以输出经扩展的经减幅的加速度信号的输出件。

3.根据权利要求1或2所述的电子系统，其中，所述阻尼电路包括电阻器和电感器，所述电阻器和电感器待与所述压电元件串联连接以与所述压电元件的电容器形成电阻器-电感器-电容器电路，并且其中所述电阻器-电感器-电容器电路的电子共振频率被匹配至所述第一机械共振频率，其中所述电感器优选地由回转器电路形成。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子系统，还包括传感器电路，所述传感器电路被配置成输出代表所述压电元件上的电压或储存在所述压电元件中的电荷的测量信号。

5.根据权利要求1和4所述的电子系统，其中所述阻尼系统包括反馈回路，所述反馈回路被配置成基于所述测量信号向所述压电元件施加电压以使所述第一机械共振的振幅减幅。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的电子系统，其中，所述扩展器包括一个或更多个模拟滤波器。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电子系统，其中，所述扩展器包括一个或更多个数字滤波器。

8.一种加速度计，所述加速度计包括质量体、连接至所述质量体的压电元件、和连接至所述压电元件的电子系统，其中所述加速度计具有第一机械共振频率，其中所述电子系统包括：

a)阻尼电路，所述阻尼电路被配置成：

-接收来自所述压电元件的加速度信号；

-以电学方式使所述第一机械共振频率的振幅减幅；以及

-产生经减幅的加速度信号，

b)扩展器，所述扩展器被配置成：

-接收所述经减幅的加速度信号；

-扩展所述频率响应；以及

-输出经扩展的经减幅的加速度计信号，

其中所述扩展器被配置成具有与经减幅的第一机械共振频率相匹配的第一电子反共振频率，并且被配置成具有介于所述第一电子反共振频率与更高的第二频率之间的、与所述加速度计和所述阻尼电路的组合的相对应的频率响应大致相反的频率响应。

9.一种用于校准根据权利要求8所述的加速度计的电子系统的方法，包括以下步骤：

a.测量所述经减幅的加速度信号的实际频率响应；

b.比较所述实际频率响应与期望的频率响应；

c.基于步骤b.的结果，确定扩展器设定的值以利用经扩展的经减幅的加速度计信号来获得期望的频率响应；以及

d.将所述扩展器设定设置成所确定的值。

10.一种用于校准包括根据权利要求3所述的电子系统的加速度计的方法，包括以下步骤：

a.测量所述第一机械共振频率及其振幅；

b.确定所述电阻器-电感器-电容器电路的电阻器和电感器的值以将所述第一机械共振频率减幅至期望的水平；以及

c.将所述电阻器和电感器设置成所确定的值。

11.一种测量系统，包括根据权利要求8所述的加速度计。