[发明专利]电子系统、加速度计、校准方法、光刻设备和器件制造方法

说明书

本发明涉及一种电子系统，所述电子系统用于具有压电元件和第一机械共振频率的加速度计，所述电子系统包括：a)阻尼电路，所述阻尼电路被配置成：‑接收来自所述压电元件的加速度信号，‑以电学方式使所述第一机械共振频率的振幅减幅；以及‑产生经减幅的加速度信号，b)扩展器，所述扩展器被配置成：‑接收经减幅的加速度信号；‑扩展频率响应；以及‑输出经扩展的经减幅的加速度信号，其中所述扩展器被配置成具有与经减幅的第一机械共振频率相匹配的第一电子反共振频率，并且被配置成具有介于所述第一电子反共振频率与更高的第二频率之间的、与所述加速度计和所述阻尼电路的组合的相对应的频率响应大致相反的频率响应。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年2月4日递交的欧洲申请19155204.1的优先权，所述欧洲申请的全部内容通过引用并入本文中。

技术领域

本发明涉及用于加速度计的电子系统、包括这样的电子系统的加速度计、用于所述加速度计的所述电子系统的校准方法、光刻设备、以及使用光刻设备的器件制造方法。

背景技术

光刻设备是一种将所期望的图案施加到衬底上(通常施加到衬底的目标部分上)的机器。例如，可以将光刻设备用在集成电路(IC)的制造中。在这种情况下，可以将可替代地称为掩模或掩模版的图案形成装置用于生成待形成于所述IC的单层上的电路图案。可以将此图案转印到衬底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括一部分管芯、一个或若干个管芯)上。所述图案的转印典型地通过将图案成像到设置于衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层来进行。通常，单个衬底将包括被连续地形成图案的相邻目标部分的网络。常规的光刻设备包括：所谓的步进机，在所述步进机中，通过将整个图案一次曝光到所述目标部分上来辐射每一个目标部分；和所谓的扫描器，在所述扫描器中，通过辐射束沿给定方向(“扫描”方向)扫描所述图案、同时沿与所述方向平行或反向平行的方向同步地扫描所述衬底来辐射每个目标部分。也可以通过将所述图案压印到衬底上而将所述图案从所述图案形成装置转印到所述衬底上。

在所述光刻设备中，例如，出于主动减幅和/或诊断目的，可能需要所述光刻设备的物体的位置、取向、速度、加速度和/或跳动的准确且低噪声的测量。所述光刻设备的目的可以例如是被构造成支撑所述图案形成装置的支撑件、构造成保持所述衬底的衬底台、所述投影系统的元件和/或测量框架或支撑框架的框架构件。

为了测量加速度，可以使用低噪声的压电加速度计，所述压电加速度计典型地是相对大的并且遭受相对低的第一机械共振频率，从而限制其有用频率范围。

扩展所述有用频率范围的显而易见的解决方案可以是通过降低在所述加速度计中使用的质量来增加所述第一机械共振频率。然而，虽然较小的加速度计具有较大有用频率范围的优点，但是副产品是显著较高的噪声。

发明内容

期望提供一种允许在经扩展的频率范围上进行低噪声测量的加速度计。

根据本发明的实施例，提供一种用于具有压电元件和第一机械共振频率的加速度计的电子系统，所述电子系统包括：

a)阻尼电路，所述阻尼电路被配置成：

-接收来自所述压电元件的加速度信号；

-以电学方式使所述第一机械共振频率的振幅减幅；以及

-产生经减幅的加速度信号，

b)扩展器，所述扩展器被配置成：

-接收所述经减幅的加速度信号；

-扩展所述频率响应；以及

-输出经扩展的经减幅的加速度信号，