[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物及光聚合引发剂，其中，

所述粘合剂聚合物包含源自具有双环戊基的(甲基)丙烯酸酯化合物的结构单元。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，

以源自构成所述粘合剂聚合物的聚合性单体的结构单元的总质量为基准，所述源自具有双环戊基的(甲基)丙烯酸酯化合物的结构单元的含量为1～50质量％。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其进一步含有在340nm～430nm具有最大吸收的敏化色素。

4.一种感光性元件，其具备支撑体及感光层，所述感光层形成于该支撑体上且包含权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物。

5.一种抗蚀剂图案的形成方法，其包括：

感光层形成工序，将包含权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物的感光层、或权利要求4所述的感光性元件的感光层层叠在基板上；

曝光工序，对所述感光层的规定部分照射活性光线来形成光固化部；及

显影工序，将所述感光层的所述规定部分以外的区域从所述基板上去除。

6.根据权利要求5所述的抗蚀剂图案的形成方法，其中，

所述活性光线的波长在340nm～430nm的范围内。

7.一种印刷线路板的制造方法，其包括：对根据权利要求5或6所述的抗蚀剂图案的形成方法而形成有抗蚀剂图案的基板进行蚀刻处理或镀敷处理来形成导体图案的工序。