[发明专利]试样保持工具在审
| 申请号： | 202080012876.1 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN113396535A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 楢崎义悟 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | H02N13/00 | 分类号： | H02N13/00;H05B3/06;H05B3/74;H01L21/683 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 试样 保持 工具 | ||
1.一种试样保持工具，具备：
板状的绝缘基体，具有作为试样保持面的第1面以及与该第1面相反的一侧的第2面；以及
发热电阻体，设置在所述绝缘基体的所述第2面，
所述第2面具有所述发热电阻体所在的第1部分、包围所述第1部分的周围的第2部分、以及设置在所述第1部分与所述第2部分之间的槽部，
所述第1部分的表面粗糙度比所述第2部分的表面粗糙度大。
2.根据权利要求1所述的试样保持工具，其中，
所述槽部的表面粗糙度比所述第2部分的表面粗糙度大。
3.根据权利要求1或2所述的试样保持工具，其中，
所述第1部分距所述第1面的距离比所述第2部分距所述第1面的距离大。
4.根据权利要求1或2所述的试样保持工具，其中，
所述第1部分距所述第1面的距离比所述第2部分距所述第1面的距离小。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的试样保持工具，其中，
所述槽部的边缘部分以及所述槽部的内壁面与底面交叉的交叉部分为R形状。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的试样保持工具，其中，
所述槽部的宽度随着从开口朝向底面而变小。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的试样保持工具，其中，
所述绝缘基体具有从所述第1面贯通至所述第2面的贯通孔，
所述第2面还具有位于所述贯通孔的开口周围的第3部分和设置在所述第1部分与所述第3部分之间的第2槽部，
所述第1部分的表面粗糙度比所述第3部分的表面粗糙度大。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的试样保持工具，其中，
所述试样保持工具还具备支承所述绝缘基体的所述第2面的金属制的支承体。
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