[发明专利]具有树脂基板的装置及其制造方法

权利要求书

1.一种具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

在玻璃基板上形成由金属或者金属氧化物形成的第一层；

在所述第一层之上形成由金属或者金属氧化物形成的第二层；

在所述第二层之上形成由金属或者金属氧化物形成的第三层；

对所述第三层进行图案化；

在所述第三层之上形成树脂基板；

在所述树脂基板之上形成功能层；

之后，将所述树脂基板从所述第二层和第三层的层剥离。

2.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第三层的与所述树脂基板的粘接力比所述第二层与所述树脂基板的粘接力强。

3.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第二层的与所述第一层的粘接力比所述第二层的与所述树脂基板的粘接力强。

4.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第三层的与所述第二层的粘接力比所述第三层的与所述树脂基板的粘接力强。

5.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第一层的与所述玻璃基板的粘接力比所述第三层的与所述树脂基板的粘接力强。

6.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第一层为SiN、ITO、AlO的任一者。

7.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第二层为Cu、CuO、Mg、MgO、Ni、NiO、Au的任一者。

8.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第三层为AlO、SiN、ITO、Cr、Ti的任一者。

9.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第一层为SiN，所述第二层为Ni，所述第三层为AlO。

10.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述树脂基板为聚酰亚胺基板。

11.如权利要求1所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述玻璃基板具有周边区域和作为所述周边区域的内侧的内侧区域，

所述第三层在所述周边区域中沿着所述玻璃基板的边形成。

12.如权利要求11所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第三层在所述周边区域中沿着所述玻璃基板的4个边形成。

13.如权利要求11所述的具有树脂基板的装置的制造方法，其特征在于：

所述第三层在所述内侧区域中形成为岛状。