[发明专利]清洁用部件及其制造方法

权利要求书

1.一种清洁用部件，其特征在于：

具有通过中值纤维直径为100nm以上且2000nm以下的单纤维的缠绕而保形的无纺结构体，

所述无纺结构体的表观密度为0.05g/cm³以上且0.60g/cm³以下，

用以下方法测量的水滴对该无纺结构体的渗透时间为0秒以上且45秒以内，

水滴的渗透时间的测量方法：

使用两组板厚为10mm的各一对SUS板，将片状的无纺结构体的两端分别夹持，在该状态下对该无纺结构体赋予张力，以该无纺结构体与实验台隔开间隔的方式固定，接着，从在赋予了张力的状态下固定的无纺结构体的上方滴加作为水滴的离子交换水15μL，通过目视对滴加了水滴的面进行观察，将从滴加水滴的时刻开始至水滴变得完全无法辨别的时间作为水滴的渗透时间，其中，将测量的无纺结构体的尺寸设为80mm×50mm，将SUS板组之间的距离设为50mm，赋予样品不松弛的程度的张力进行夹持，从距中央的位置高10mm的上方滴加水滴。

2.如权利要求1所述的清洁用部件，其特征在于：

所述单纤维的中值纤维直径为250nm以上且900nm以下。

3.如权利要求1或2所述的清洁用部件，其特征在于：

所述单纤维彼此没有相互粘接。

4.如权利要求1或2所述的清洁用部件，其特征在于：

所述单纤维彼此的接触点的至少一个单纤维的截面形状变形为与该单纤维彼此的非接触点的单纤维的截面形状不同的形状。

5.如权利要求1或2所述的清洁用部件，其特征在于：

用于研磨后的半导体基板的清洁。

6.如权利要求1或2所述的清洁用部件，其特征在于：

所述无纺结构体的空隙率为30％以上且75％以下。

7.如权利要求1或2所述的清洁用部件，其特征在于：

所述无纺结构体在将累积细孔容积用细孔直径的对数值进行微分而得到的细孔容积分布中，具有在50μm以下的细孔直径的范围内具有顶峰且在超过50μm的细孔直径的范围内不具有顶峰的分布。

8.如权利要求1或2所述的清洁用部件，其特征在于：

所述无纺结构体为所述单纤维缠绕而成的堆积体的压缩成型体。

9.如权利要求1或2所述的清洁用部件，其特征在于：

还具有支承部件，

所述支承部件与所述无纺结构体以彼此接触的方式配置。

10.如权利要求9所述的清洁用部件，其特征在于：

所述无纺结构体以包覆所述支承部件的整个面的方式配置，或者

片状或块体状的所述无纺结构体配置于板状的所述支承部件的至少一个面，或者

片状的所述无纺结构体配置于滚筒状的所述支承部件的周面。

11.如权利要求1或2所述的清洁用部件，其特征在于：

所述单纤维包含热塑性树脂，

所述热塑性树脂为聚乙烯、聚丙烯、乙烯-α-烯烃共聚物和乙烯-丙烯共聚物的聚烯烃树脂；聚对苯二甲酸乙二醇酯的聚酯树脂；聚酰胺6和聚酰胺66的聚酰胺树脂；聚氯乙烯和聚苯乙烯的乙烯系树脂；以及聚丙烯酸和聚甲基丙烯酸甲酯的丙烯酸系树脂中的至少一种。

12.如权利要求11所述的清洁用部件，其特征在于：

所述热塑性树脂的含量相对于所述单纤维的所有构成成分100质量份，为70质量份以上且98质量份以下。

13.如权利要求1或2所述的清洁用部件，其特征在于：

所述单纤维包含离子性表面活性剂。