[发明专利]溅射靶及溅射靶的制造方法

权利要求书

1.一种溅射靶，具有：

筒状的衬管；

靶主体，其具有包围所述衬管的外周面的多个圆筒状的靶部件，所述多个靶部件分别以在所述衬管的中心轴方向上分离的方式排列设置，通过在所述中心轴方向排列所述多个靶部件而在相邻的靶部件之间形成的间隙环绕在所述衬管的中心轴周围，在所述衬管侧形成有与所述间隙连通的凹部；

接合材料，其设置在所述衬管与所述靶主体之间，将所述多个靶部件分别与所述衬管接合；以及

遮挡部件，其配置在所述接合材料与所述靶主体之间，以不从所述凹部凸出的方式被容纳在所述凹部，从所述接合材料侧遮挡所述间隙。

2.根据权利要求1所述的溅射靶，其中，

所述相邻的靶部件包括第一靶部件和第二靶部件，

所述第一靶部件具有与所述第二靶部件相向的第一端面，

所述第二靶部件具有与所述第一靶部件相向的第二端面，

所述第一靶部件具有：与所述衬管间隔第一距离且与所述接合材料相向的第一内周面，和与所述第一端面接连设置且与所述衬管间隔比所述第一距离长的第二距离且与所述遮挡部件相向第二内周面；通过所述第一内周面和所述第二内周面形成阶梯，

所述第二靶部件具有：与所述衬管间隔所述第一距离且与所述接合材料相向的第三内周面，和与所述第二端面接连设置且与所述衬管间隔所述第二距离且与所述遮挡部件相向的第四内周面；通过所述第三内周面和所述第四内周面形成阶梯，

所述第二内周面和所述第四内周面间隔所述间隙并在所述中心轴方向上排列，由此在所述靶主体形成所述凹部。

3.根据权利要求2所述的溅射靶，其中，

所述遮挡部件与所述衬管之间的距离比所述第一距离长。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的溅射靶，其中，

多个所述靶主体在所述衬管的所述中心轴方向上被排列设置成列状。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的溅射靶，其中，

所述多个靶部件分别由氧化物的烧结体构成。

6.根据权利要求4所述的溅射靶，其中，

所述多个靶部件分别由氧化物的烧结体构成。

7.根据权利要求5所述的溅射靶，其中，

所述氧化物具有In、Ga和Zn。

8.根据权利要求6所述的溅射靶，其中，

所述氧化物具有In、Ga和Zn。

9.一种溅射靶的制造方法，所述溅射靶具有筒状的衬管、包围所述衬管的靶主体、和被夹设在所述衬管与所述靶主体之间并接合所述衬管与所述靶主体的接合材料，其中，

将筒状的第一靶部件和筒状的第二靶部件以在各自的中心轴方向上分离的方式排列；

通过排列所述第一靶部件和所述第二靶部件而形成间隙，并且在所述第一靶部件和所述第二靶部件各自的内部形成与所述间隙连通的凹部；

以不从所述凹部凸出的方式将遮挡部件容纳在所述凹部，通过所述遮挡部件从所述第一靶部件和所述第二靶部件各自的内侧遮挡所述间隙；

用所述第一靶部件和所述第二靶部件包围所述衬管的外周面；

向所述第一靶部件和所述衬管之间填充熔融的所述接合材料，然后通过所述遮挡部件与所述衬管之间，将熔融的所述接合材料填充至所述第二靶部件与所述衬管之间；

通过使所述接合材料固化，将所述第一靶部件与所述衬管之间和所述第二靶部件与所述衬管之间接合，围绕所述衬管形成具有所述第一靶部件和所述第二靶部件的所述靶主体。