[发明专利]溅射靶及溅射靶的制造方法

说明书

本发明实施例涉及抑制遮挡部件脱落。在溅射靶中，靶主体具有包围筒状衬管的外周面的圆筒状的多个靶部件，多个靶部件的分别以在衬管的中心轴方向上分离的方式排列设置，通过在中心轴方向排列多个靶部件而在相邻的靶部件之间形成的间隙环绕衬管的中心轴周围，在上述衬管侧形成有与间隙连通的凹部。接合材料设置在衬管与上述靶主体之间，将多个靶部件分别与衬管接合。遮挡部件配置在接合材料与靶主体之间，被容纳在凹部，从上述接合材料侧遮挡间隙。

技术领域

本发明涉及溅射靶及溅射靶的制造方法。

背景技术

随着薄型电视的大图像化，制造平板显示器时所使用的溅射靶的大型化也在推进。随之而来地也出现了面积较大的氧化物靶。尤其是正在研发安装有较长的圆筒型氧化物靶的成膜装置。为了得到较长的圆筒型氧化物靶，已有使用接合材料将多个圆筒型氧化物烧结体与圆筒型衬管接合的方法。

但是，在用多个靶部件构成溅射靶的情况下，有时因靶部件的热膨胀导致相邻的靶部件互相接触而靶部件破裂。为了防止该由接触引起的破裂，有时在相邻的靶部件之间设置间隙(例如，参照专利文献1)。

然而，当设置有间隙时，也有可能接合材料侵入间隙或衬管从间隙露出，从而靶材以外的成分附着在间隙。当出现这样的现象时，靶材以外的成分混入覆膜并会使覆膜的性质劣化。此外，其也成为在成膜工序中异常放电的起因。

为了解决这样的问题，也提出有如下方案，例如：在平面型的分割型溅射靶中，从衬管侧向相邻的靶部件之间的间隙贴附遮挡部件，以防止接合材料侵入间隙、背板从间隙露出(例如，参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-168832号公报。

专利文献2：日本专利第4961514号公报。

发明内容

发明要解决的问题

然而，相对于在平面型的溅射靶中使靶部件与背板隔着接合材料相向后通过分别将其贴合而接合的这种一般的接合方法，有时也采用了如下方案：在圆筒型的溅射靶中，将接合材料注入靶部件和衬管从而接合靶部件和衬管。因此，在制造圆筒型的溅射靶时，在注入接合材料时如何抑制遮挡部件脱落变得十分重要。

鉴于上述情况，本发明的目的在于，提供一种抑制遮挡部件脱落的溅射靶及其制造方法。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明的一个实施方式所涉及的溅射靶具有：筒状的衬管、靶主体、接合材料以及遮挡部件。

上述靶主体具有包围上述衬管的外周面的圆筒状的多个靶部件，上述多个靶部件的每一个均以在上述衬管的中心轴方向上分离的方式排列设置。通过在上述中心轴方向排列上述多个靶部件，从而在相邻的靶部件之间形成的间隙环绕上述衬管的中心轴周围，在上述衬管侧形成有与上述间隙连通的凹部。

上述接合材料设置在上述衬管与上述靶主体之间，将上述多个靶部件的每一个与上述衬管接合。

上述遮挡部件配置在上述接合材料与上述靶主体之间，被容纳在上述凹部，从上述接合材料侧遮挡上述间隙。

根据这样的溅射靶，由于遮挡部件容纳在凹部，因此抑制遮挡部件的脱落。

可以在上述溅射靶中，上述相邻的靶部件包括第一靶部件和第二靶部件，

上述第一靶部件具有与上述第二靶部件相向的第一端面，

上述第二靶部件具有与上述第一靶部件相向的第二端面，