[发明专利]光设备、光检测系统及其制造方法

权利要求书

1.一种光设备，其中，具备：

第1基板，具有沿着第1方向及与上述第1方向交叉的第2方向扩展的第1表面；

第2基板，具有与上述第1表面至少局部地对置的第2表面，上述第2表面具有与上述第1表面不同的面积；

至少1个光波导，在上述第1基板与上述第2基板之间沿着上述第1方向延伸；以及

多个弹性间隔件，配置于上述第1表面及上述第2表面的至少一方，包括第1部分及第2部分；

上述多个弹性间隔件的上述第1部分是位于上述第1基板与上述第2基板之间而且从与上述第1表面垂直的方向观察时上述第1基板与上述第2基板重叠的区域中的至少1个弹性间隔件；

上述多个弹性间隔件的上述第2部分是位于从与上述第1表面垂直的方向观察时上述第1基板与上述第2基板不重叠的区域中的至少1个弹性间隔件。

2.如权利要求1所述的光设备，其中，

还具备多个隔墙，该多个隔墙是在上述第1基板与上述第2基板之间在上述第2方向上排列的多个隔墙，各个隔墙沿着上述第1方向延伸；

上述多个弹性间隔件各自的弹性模量比上述多个隔墙各自的弹性模量小。

3.如权利要求2所述的光设备，其中，

上述多个隔墙被上述第1基板和上述第2基板直接或间接地夹持；

通过上述第1基板和上述第2基板的夹持，与上述第1表面垂直的方向上的上述多个弹性间隔件各自的变形率比上述垂直的方向上的上述多个隔墙各自的变形率大。

4.如权利要求1～3中任一项所述的光设备，其中，

上述多个弹性间隔件分别具有柱状的形状。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光设备，其中，

上述至少1个光波导分别具备：第1部分，配置在上述第1基板与上述第2基板之间而且上述第1基板与上述第2基板重叠的区域中；以及第2部分，配置在上述第1基板与上述第2基板不重叠的区域中。

6.如权利要求5所述的光设备，其中，

上述至少一个光波导是多个光波导；

上述多个弹性间隔件的上述第2部分的至少一部分位于上述多个光波导各自的上述第2部分的周围。

7.如权利要求5或6所述的光设备，其中，

上述至少一个光波导分别包括位于相邻的两个隔墙之间的部分，在上述部分具备第1光栅。

8.如权利要求5～7中任一项所述的光设备，其中，

上述至少一个光波导分别在上述第2部分具备第2光栅。

9.如权利要求1～8中任一项所述的光设备，其中，

还具备固定上述第1基板与上述第2基板之间的间隔的密封部件；

上述至少1个光波导具有1个以上的第1光波导与1个以上的第2光波导分别连接的构造；

当从与上述第1表面垂直的方向观察时，上述密封部件包围上述1个以上的第1光波导。

10.如权利要求9所述的光设备，其中，

上述1个以上的第1光波导分别包括沿着上述第1方向延伸的1个以上的电介质部件各自；

上述第1基板与上述第2基板之间且由上述密封部件包围的区域被与上述1个以上的电介质部件相同的部件充满。

11.如权利要求1～10中任一项所述的光设备，其中，

上述1个以上的第1光波导分别包括沿着上述第1方向延伸的1个以上的电介质部件各自；

上述光设备还具备2个镜，该2个镜分别位于上述第1基板与上述1个以上的电介质部件之间、以及上述第2基板与上述1个以上的电介质部件之间。

12.如权利要求11所述的光设备，其中，

上述多个弹性间隔件的上述第1部分的至少一部分位于被上述2个镜夹着的区域的外侧。