[发明专利]光设备、光检测系统及其制造方法

说明书

光设备具备：第1基板，具有第1表面；第2基板，具有与上述第1表面至少局部地对置的第2表面；至少1个光波导，在上述第1基板与上述第2基板之间沿着上述第1方向延伸；以及多个弹性间隔件，配置于上述第1表面及上述第2表面的至少一方，包括第1部分及第2部分。上述多个弹性间隔件的上述第1部分是位于上述第1基板与上述第2基板之间而且从与上述第1表面垂直的方向观察时上述第1基板与上述第2基板重叠的区域中的至少1个弹性间隔件。上述多个弹性间隔件的上述第2部分是位于从与上述第1表面垂直的方向观察时上述第1基板与上述第2基板不重叠的区域中的至少1个弹性间隔件。

技术领域

本发明涉及光设备、光检测系统及其制造方法。

背景技术

以往，提出了能够用光来扫描(scan)空间的各种设备。

专利文献1公开了能够使用使镜旋转的驱动装置进行通过光的扫描的结构。

专利文献2公开了具有二维排列的多个纳米光子天线元件的光相控阵列。各个天线元件与可变光延迟线(即移相器)光学上耦合。在该光相控阵列中，相干光束通过波导被引导至各个天线元件，通过移相器，光束的相位发生移位。由此，能够使远场辐射图的振幅分布变化。

专利文献3公开了一种光偏转元件，具备：光波导，具有光在内部导波的光波导层和形成于光波导层的上表面及下表面的第1分布布拉格镜；光入射口，用来使光入射至光波导内；以及光射出口，为了射出从光入射口入射并在光波导内导波的光而形成于光波导的表面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2013/168266号

专利文献2：日本特表2016－508235号公报

专利文献3：日本特开2013－16591号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的目的是提供一种具备尺寸精度高的光波导的新的光设备。

用来解决课题的手段

有关本发明的一技术方案的光设备具备：第1基板，具有沿着第1方向及与上述第1方向交叉的第2方向扩展的第1表面；第2基板，具有与上述第1表面至少局部地对置的第2表面；至少1个光波导，在上述第1基板与上述第2基板之间沿着上述第1方向延伸；以及多个弹性间隔件，配置于上述第1表面及上述第2表面的至少一方，包括第1部分及第2部分。上述第2表面具有与上述第1表面不同的面积。上述多个弹性间隔件的上述第1部分是位于上述第1基板与上述第2基板之间而且从与上述第1表面垂直的方向观察时上述第1基板与上述第2基板重叠的区域中的至少1个弹性间隔件。上述多个弹性间隔件的上述第2部分是位于在从与上述第1表面垂直的方向观察时上述第1基板与上述第2基板不重叠的区域中的至少1个弹性间隔件。

本发明的包含性或具体的形态也可以通过设备、系统、方法或它们的任意的组合实现。

发明效果

根据本发明的一技术方案，能够实现具备尺寸精度高的光波导的光设备。

附图说明

图1是示意地表示光扫描设备的结构的立体图。

图2是示意地表示一个波导元件的截面的构造及传播的光的例子的图。

图3A是表示向与波导阵列的射出面垂直的方向射出光的波导阵列的截面的图。

图3B是表示向与垂直于波导阵列的射出面的方向不同的方向射出光的波导阵列的截面的图。

图4是示意地表示三维空间中的波导阵列的立体图。