[发明专利]有机溶剂的处理方法及处理材料有效

专利信息
申请号: 202080024017.4 申请日: 2020-03-10
公开(公告)号: CN113631269B 公开(公告)日: 2022-11-18
发明(设计)人: 藤村侑;川胜孝博;田中洋一 申请(专利权)人: 栗田工业株式会社
主分类号: B01J41/05 分类号: B01J41/05;B01J41/07;B01J41/13;B01J41/14;B01J47/014;B01J47/12;B01J47/127
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 陈曦;向勇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 有机溶剂 处理 方法 材料
【权利要求书】:

1.一种有机溶剂的处理方法,从电子部件制造工序中使用的有机溶剂中去除微粒,所述有机溶剂的处理方法的特征在于,

包括使处理材料与所述有机溶剂接触的接触工序,所述处理材料是在水中具有正电荷或负电荷且含水率为3质量%以上的处理材料。

2.如权利要求1所述的有机溶剂的处理方法,其中,

在所述接触工序之前,向所述有机溶剂中添加超纯水。

3.如权利要求1所述的有机溶剂的处理方法,其中,

作为所述处理材料,使用与水接触处理过的处理材料。

4.如权利要求1至3中任一项所述的有机溶剂的处理方法,其中,

所述处理材料由具有阴离子交换基团的聚合物构成。

5.如权利要求1至3中任一项所述的有机溶剂的处理方法,其中,

处理材料由阴离子交换膜构成。

6.如权利要求4所述的有机溶剂的处理方法,其中,

所述处理材料为纤维的形态。

7.如权利要求1至4中任一项所述的有机溶剂的处理方法,其中,

处理材料由离子交换纤维构成。

8.一种有机溶剂处理材料,其是面向电子部件制造工序的有机溶剂处理材料,其中,

所述有机溶剂处理材料通过与电子部件制造工序中使用的有机溶剂接触从而从有机溶剂中去除微粒,所述有机溶剂处理材料在水中具有正电荷或负电荷。

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