[发明专利]共模抑制比测试系统和方法

权利要求书

1.一种系统，包括：

接触器，其包括分别包括第一导电探针和第二导电探针的探针对，所述第一导电探针和所述第二导电探针被布置为耦合到被测器件即DUT的相应导电特征部；

耦合到所述接触器的测试电路，所述测试电路包括：

电压源，其包括提供共模电压信号的第一输出端和耦合到参考节点的第二输出端；

第一缓冲器，其包括：耦合到所述电压源的所述第一输出端的第一输入端、耦合到第一探针对的第一导电探针的输出端，以及耦合到所述第一探针对的第二导电探针的第二输入端，所述第一探针对的所述第一导电探针被布置为耦合到连接到所述DUT的第一输入节点的导电特征部；以及

第二缓冲器，其包括：耦合到所述电压源的所述第一输出端的第一输入端、耦合到第二探针对的第一导电探针的输出端，以及耦合到所述第二探针对的第二导电探针的第二输入端，所述第二探针对的所述第一导电探针被布置为耦合到连接到所述DUT的第二输入节点的导电特征部。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述测试电路还包括：

第一开关，其耦合在所述第一缓冲器的所述输出端和所述第一探针对的所述第一导电探针之间；

第二开关，其耦合在所述第一缓冲器的所述第二输入端和所述第一探针对的所述第二导电探针之间；

第三开关，其耦合在所述第二缓冲器的所述输出端和所述第二探针对的所述第一导电探针之间；以及

第四开关，其耦合在所述第二缓冲器的所述第二输入端和所述第二探针对的所述第二导电探针之间。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述测试电路还包括：

耦合在所述第一缓冲器和所述第一探针对之间的开关；以及

耦合在所述第二缓冲器和所述第二探针对之间的另一个开关。

4.根据权利要求3所述的系统，其中所述测试电路还包括以所述电压源的所述第一输出端为参考的缓冲器供电电路，所述缓冲器供电电路包括：耦合到所述第一缓冲器和所述第二缓冲器的第一供应节点的第一输出端，以及耦合到所述第一缓冲器和所述第二缓冲器的第二供应节点的第二输出端。

5.根据权利要求4所述的系统，其中所述测试电路还包括以所述参考节点为参考的第二供电电路，所述第二供电电路包括：

耦合到另一探针对的导电探针的第一输出端，所述另一探针对的所述导电探针被布置为耦合到连接到所述DUT的第一供应节点的导电特征部；以及

耦合到又一探针对的导电探针的第二输出端，所述又一探针对的所述导电探针被布置为耦合到连接到所述DUT的第二供应节点的导电特征部。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述测试电路还包括以所述电压源的所述第一输出端为参考的缓冲器供电电路，所述缓冲器供电电路包括：耦合到所述第一缓冲器和所述第二缓冲器的第一供应节点的第一输出端，以及耦合到所述第一缓冲器和所述第二缓冲器的第二供应节点的第二输出端。

7.根据权利要求6所述的系统，其中所述测试电路还包括以所述参考节点为参考的第二供电电路，所述第二供电电路包括：

耦合到另一探针对的导电探针的第一输出端，所述另一探针对的所述导电探针被布置为耦合到连接到所述DUT的第一供应节点的导电特征部；以及

耦合到又一探针对的导电探针的第二输出端，所述又一探针对的所述导电探针被布置为耦合到连接到所述DUT的第二供应节点的导电特征部。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述探针对的所述第一导电探针和所述第二导电探针是引脚或触点，所述引脚或触点被配置为接合封装的电子器件DUT的相应的导电引脚或引线特征部。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述探针对的所述第一导电探针和所述第二导电探针是被配置为接合晶圆管芯区域的相应键合焊盘的晶圆探测针。

10.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一缓冲器和所述第二缓冲器是运算放大器。