[发明专利]用于机器人系统的基于雷达的位置测量

权利要求书

1.一种装置，包括：

至少一个发射器，被配置为发射能量；

至少一个接收器，被配置为接收所发射的能量，

其中所述至少一个发射器被安装在以下项中的至少一项上：

机械臂，

所述机械臂的端部执行器，

所述机械臂上的基板，或

基板处理模块，

其中所述至少一个接收器被安装在以下项中的至少一项上：

所述机械臂，

所述机械臂的所述端部执行器，

所述机械臂上的所述基板，或

所述基板处理模块。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所发射的能量包括以下项中的至少一项：

无线电波，

光能，或

声能。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个发射器和所述至少一个接收器包括收发器，所述收发器被配置为既发射所发射的能量，并且又接收反射的能量作为所接收的能量。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个接收器被配置为接收所发射的能量作为反射能量，所述反射能量已经从以下项中的至少一项而被反射：

所述机械臂，

所述机械臂上的所述端部执行器，

所述机械臂上的所述基板，或

所述基板处理模块。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个发射器被安装在所述机械臂上，并且所述至少一个接收器被安装在所述机械臂上。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个发射器包括多个发射器，其中所述多个发射器被安装到所述基板处理模块的腔室并且具有相应不同的能量传输方向，所述相应不同的能量传输方向朝向所述腔室中的中心基板定位区域。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个发射器被安装在所述机械臂上，并且所述至少一个接收器被安装在所述基板处理模块上，其中所述至少一个接收器包括多个接收器，其中所述多个接收器位于相对于所述基板处理模块的腔室的中心的不同角度位置处。

8.根据权利要求1所述的设备，其中所述至少一个发射器被安装到所述基板处理模块，其中所述至少一个发射器包括多个发射器，其中所述多个发射器位于相对于所述基板处理模块的腔室的中心的不同角度位置处，并且其中所述至少一个接收器位于所述机械臂上。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个发射器和所述至少一个接收器被安装在所述基板上。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个发射器被安装在所述基板上，并且其中所述至少一个接收器包括多个接收器，其中所述多个接收器位于相对于所述基板处理模块的腔室的中心的不同角度位置处。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个发射器被安装到所述机械臂和所述基板处理模块，其中所述至少一个发射器包括多个发射器，其中所述基板处理模块上的所述多个发射器位于相对于所述基板处理模块的腔室的中心的不同角度位置处，并且其中所述至少一个接收器位于所述基板上。

12.一种方法，包括：

在以下项中的至少一项上安装至少一个发射器：

机械臂，

所述机械臂的端部执行器，

所述机械臂上的基板，或

基板处理模块，

其中所述至少一个接收器被配置为发射能量；

在以下项中的至少一项上安装至少一个接收器：

所述机械臂，

所述机械臂的所述端部执行器，

所述机械臂上的所述基板，或

所述基板处理模块，

其中所述至少一个接收器被配置为接收所发射的能量。