[发明专利]处理冷却水隔离

权利要求书

1.一种用于处理工具中的处理冷却水隔离系统，所述系统包括：

具有入口端口和出口端口的隔离阀，所述入口端口被配置为联接到水源，所述出口端口被配置为联接到处理模块水冷却回路中的一个或多个部件的入口；

打开装置，其联接到所述隔离阀以打开所述隔离阀以允许冷却水流到所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件；

关闭装置，其联接到所述隔离阀以关闭所述隔离阀，以防止冷却水流到所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件；

至少一个漏水传感器，其联接到所述关闭装置、所述至少一个漏水传感器以检测所述处理工具内的漏水；以及

具有入口端口和出口端口的止回阀，所述入口端口被配置为联接到所述处理模块水冷却回路中的一个或多个部件的出口，所述出口端口被配置成联接到回水储存器、所述止回阀以防止水从所述回水储存器回流到所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件中。

2.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其还包括：设置在所述漏水传感器和所述关闭装置之间的漏水传感器输入模块，所述漏水传感器输入模块从所述至少一个漏水传感器接收信号，并将所述信号传送到所述关闭装置以关闭所述隔离阀。

3.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述至少一个漏水传感器包括在所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件中的每一个中的多个实例。

4.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述至少一个漏水传感器包括形成在所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件中的至少一些部件附近的水敏电缆。

5.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述止回阀具有大于约6.9kPa的破裂压力。

6.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件包括从包括射频发生器，远程等离子体室，顶板、主轴、基座和室的部件中选择的至少一个部件。

7.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件彼此串联布置。

8.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件彼此并联布置。

9.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件被布置成彼此串联-并联布置。

10.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述打开装置、所述关闭装置和所述隔离阀彼此电联接。

11.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述打开装置、所述关闭装置和所述隔离阀彼此气动联接。

12.根据权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中所述打开装置、所述关闭装置和所述隔离阀彼此液压联接。

13.如权利要求1所述的处理冷却水隔离系统，其中，所述处理模块水冷却回路中的所述一个或多个部件包含在所述处理工具的处理模块内。

14.一种操作用于处理工具的处理冷却水隔离系统的方法，所述方法包括：

监测所述处理工具内的漏水；

基于已经检测到漏水的确定：

关闭所述处理工具；

发出警报；以及

关闭向所述处理工具供应冷却水的隔离阀；

基于未检测到漏水的确定：

选择打开所述隔离阀，且如果所述隔离阀先前是打开的，则继续保持所述阀打开；以及

继续监测漏水。