[发明专利]用于多束带电粒子检查系统的图像增强的系统和方法

权利要求书

1.一种与多束带电粒子系统的图像增强有关的方法，该方法包括：

对代表第一图像和第二图像的信号信息进行频率分析，其中所述第一图像与一组束中的第一束相关，而所述第二图像与所述一组束中的第二束相关；

基于所述频率分析，检测所述第一束和所述第二束相对于样品的定位中的扰动；

使用所述第一束和所述第二束的所述信号信息，获得所述样品的图像；和

根据检测到的所述扰动，校正所述样品的所述图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中对所述信号信息的分析还包括使用相干滤波来分析所述信号信息。

3.根据权利要求2所述的方法，其中使用相干滤波进一步包括：

对所述信号信息应用线性算子；

基于所述第一图像和所述第二图像的属性生成滤波器；和

通过将所述滤波器应用于所述信号信息来过滤所述信号信息。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述滤波器基于对所述第一图像和所述第二图像的功率谱密度进行平均。

5.根据权利要求3所述的方法，其中所述滤波器基于确定所述第一图像和所述第二图像的组合的所述交叉谱密度中的峰。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述峰包括所述第一图像和所述第二图像的组合的所述交叉谱密度中的多个峰。

7.根据权利要求3所述的方法，其中所述线性算子包括希尔伯特变换。

8.根据权利要求3所述的方法，其中所述线性算子包括傅立叶变换。

9.根据权利要求3所述的方法，其中生成所述滤波器还包括：分析表示所述第一图像和所述第二图像中的每一个图像的整体的信号信息。

10.根据权利要求3所述的方法，其中生成所述滤波器还包括：分析表示所述第一图像和所述第二图像的扫描线的信号信息。

11.根据权利要求1所述的方法，其中执行所述频率分析还包括：

基于所述信号信息确定功率谱密度；和

其中校正所述样品的所述图像还包括：

基于所述功率谱密度，过滤掉一部分表示动态扰动或表示白噪声的所述信号信息。

12.根据权利要求1所述的方法，还包括：

用白噪声滤波器过滤所述信号信息中的白噪声。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述白噪声滤波器基于所述第一图像和所述第二图像中的至少一个图像的功率谱密度。

14.根据权利要求1所述的方法，其中所述带电粒子系统是扫描电子显微镜、透射电子显微镜或扫描离子显微镜中的一种。

15.一种多束扫描系统，包括：

检测器，包括用于检测代表第一图像和第二图像的信号信息的电路装置，其中所述第一图像与一组束中的第一束相关，而所述第二图像与一组束中的第二束相关；

控制器，具有至少一个处理器和非暂时性计算机可读介质，所述非暂时性计算机可读介质包括指令，当由处理器执行时，所述指令使所述控制器：

对所述信号信息进行频率分析；

基于所述频率分析，检测所述第一束和所述第二束相对于样品的定位中的扰动；

使用所述第一束和所述第二束的所述信号信息，获得所述样品的图像；和

使用识别的所述扰动，校正所述样品的所述图像。