[发明专利]用于多束带电粒子检查系统的图像增强的系统和方法

说明书

与本文公开一致的实施例包括用于多束带电粒子检查系统的图像增强的方法。与本公开一致的系统和方法包括分析代表第一图像和第二图像的信号信息，其中第一图像与一组束中的第一束相关联，并且第二图像与一组束中的第二束相关联；基于分析，检测第一束和第二束相对于样品的定位的扰动；使用第一束和第二束的信号信息获得样品的图像；并使用识别的扰动，校正样品的图像。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年4月5日提交的EP申请19167583.4的优先权，该申请通过引用整体并入本文。

技术领域

本文提供的实施例公开了一种带电粒子束检查系统，并且更具体地公开了增强由多束扫描电子显微镜捕获的图像的系统和方法。

背景技术

在集成电路(IC)的制造过程中，检查未完成或完成的电路组件以确保它们是根据设计制造的并且没有缺陷。可以采用利用光学显微镜或带电粒子(例如，电子)束显微镜(例如扫描电子显微镜(SEM))的检查系统。IC组件是通过将多个层相互叠加来构建IC来制造的。在整个制造过程中，SEM可以扫描IC并提供可用于确保制造的IC符合规格的图像。

在高速制造系统中，必须快速且精确地定位台以确保准确的图像扫描。但是诸如内部泵振动、底面振动、台变形或测量误差等的动态扰动会导致图像失真。一些系统使用硬件机制来抑制振动或使样品免受动态扰动，但这些系统会增加复杂性和成本，并且通常会在捕获的图像中引入新的误差。

因此，期望在不需要附加硬件的情况下校正扫描图像的方法和系统。

发明内容

与本文公开一致的实施例包括用于多束带电粒子检查系统的图像增强的方法。与本公开一致的系统和方法包括：分析代表第一图像和第二图像的信号信息，其中第一图像与一组束中的第一束相关联并且第二图像与一组束中的第二束相关联；基于分析识别第一束和第二束相对于样品的定位的扰动；使用第一束和第二束的信号信息，获得样品的图像；并且使用识别的扰动，校正样品的图像。

在一些实施例中，分析信号信息还包括：使用相干滤波来分析信号信息。

在一些实施例中，使用相干滤波还包括：对信号信息应用线性算子；基于第一图像和第二图像的属性生成滤波器；通过将滤波器应用于信号信息来对信号信息进行滤波。

在一些实施例中，滤波器基于对第一图像和第二图像的功率谱密度求平均。

在一些实施例中，滤波器基于确定第一图像和第二图像的组合的交叉谱密度中的峰。

在一些实施例中，峰包括用于第一图像和第二图像的组合的交叉谱密度中的多个峰。

在一些实施例中，线性算子包括希尔伯特变换。

在一些实施例中，线性算子包括傅立叶变换。

在一些实施例中，生成滤波器还包括分析表示第一图像和第二图像中的每一个图像的整体的信号信息。

在一些实施例中，生成滤波器还包括分析表示第一图像和第二图像的扫描线的信号信息。

在一些实施例中，该系统和方法还包括用白噪声滤波器过滤信号信息中的白噪声。

在一些实施例中，白噪声滤波器基于第一图像和第二图像中的至少一个图像的功率谱密度。

在一些实施例中，带电粒子检查系统是扫描电子显微镜、透射电子显微镜或扫描离子显微镜中的一种。

附图说明

图1是图示与本公开的实施例一致的示例性电子束检查(EBI)系统的示意图。

图2是示出了与本公开的实施例一致的示例性电子束工具的示意图，该示例性电子束工具可以是图1的示例性电子束检查系统的一部分。