[发明专利]物体定位系统、诊断和校准方法、定位控制方法、光刻设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种物体定位系统，包括：

-致动器系统；和

-测量系统，

其中所述致动器系统包括致动器，所述致动器由主要具有电致伸缩特性、并且在没有电场的情况下基本没有净极化的材料制成，

其中所述致动器系统被配置为向所述致动器施加电场，所述电场包括偏置电场和叠加在所述偏置电场上的致动电场，所述致动电场的场强等于或小于所述偏置电场的场强，

其中所述测量系统被配置为测量所述致动器的电特性，所述电特性代表所述致动器的机械状态。

2.根据权利要求1所述的物体定位系统，其中所述致动器系统包括多个致动器，其中所述致动器系统被配置为向所述多个致动器中的每个致动器施加电场，并且其中所述测量系统被配置为测量所述多个致动器中的每个致动器的电特性。

3.根据权利要求1或2所述的物体定位系统，其中所述电特性是所述致动器的电阻抗或力诱导电荷。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的物体定位系统，其中所述测量系统包括桥电路，所述桥电路包括致动器和参考元件，所述参考元件具有与所述致动器的电特性匹配的电特性，其中所述致动系统被配置为向所述致动器和所述参考元件施加相同的电场，并且其中所述桥电路被配置为输出代表所述致动器与所述参考元件的行为差异的信号。

5.根据权利要求4所述的物体定位系统，还包括控制系统，所述控制系统被配置为基于所述测量系统的所述桥电路的输出信号来控制所述致动系统，以抑制所述致动器的机械共振。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的物体定位系统，其中要施加到所述致动器的所述电场还包括叠加在所述偏置电场和所述致动电场上的测量电场，所述测量电场的场强小于所述偏置电场和所述致动电场的组合的场强，并且其中测量系统被配置为基于所述测量电场来测量所述致动器的电特性。

7.根据权利要求6的物体定位系统，其中基于所述测量电场的所述致动器的电特性代表所述致动器的温度。

8.根据权利要求6或7所述的物体定位系统，其中所述致动器系统被配置为向所述致动器施加所述致动电场，以在预定致动频率范围内致动所述致动器，并且其中所述测量电场具有在所述预定致动频率范围外部的频率范围。

9.根据权利要求8所述的物体定位系统，其中所述测量电场的频率范围高于所述预定致动频率范围。

10.根据权利要求6-9中任一项所述的物体定位系统，其中基于所述测量电场的电特性是所述致动器的电阻抗值或电荷值。

11.根据权利要求6-9中任一项所述的物体定位系统，其中基于所述测量电场的电特性是所述致动器的电阻抗或电荷的谐振值或反谐振值。

12.根据权利要求6-11中任一项所述的物体定位系统，其中所述测量系统被配置为：确定施加到所述致动器的偏置电场和所述致动电场的组合；并且基于所确定的、被施加到所述致动器的偏置电场和所述致动电场的所述组合，补偿基于所述测量电场测得的电特性。

13.一种用于物体定位系统的诊断或校准方法，所述物体定位系统包括具有致动器的致动器系统，所述致动器由主要具有电致伸缩特性、并且在没有电场的情况下基本没有净极化的材料制成，所述方法包括：

a)向所述致动器施加偏置电场；

b)在施加所述偏置电场的同时，测量所述致动器的电特性；以及

c)从测得的电特性确定所述致动器的机械状态。