[发明专利]接合体及弹性波元件

权利要求书

1.一种接合体，其特征在于，具备：

支撑基板、

压电性材料基板、以及

所述支撑基板与所述压电性材料基板之间的多层膜，

所述多层膜具备按以下顺序具有第一层、第二层、第三层以及第四层的层叠结构，

所述第一层及所述第三层包含硅氧化物，所述第二层及第四层包含金属氧化物，所述第二层的折射率高于所述第一层的折射率及所述第三层的折射率，所述第二层的所述折射率与所述第四层的折射率不同。

2.根据权利要求1所述的接合体，其特征在于，

所述多层膜具有多个所述层叠结构。

3.根据权利要求1或2所述的接合体，其特征在于，

所述金属氧化物为铪氧化物、钽氧化物或锆氧化物。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的接合体，其特征在于，

所述第二层的所述折射率与所述第一层的所述折射率之差为0.3～0.8。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的接合体，其特征在于，

所述第二层的所述折射率与所述第四层的所述折射率之差为0.02以上。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的接合体，其特征在于，

所述第一层的厚度、所述第二层的厚度、所述第三层的厚度以及所述第四层的厚度分别为20nm以上300nm以下。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的接合体，其特征在于，

在所述压电性材料基板与所述支撑基板之间具备组成为Si_(1－v)O_v的接合层，其中，0.008≤v≤0.408。

8.一种弹性波元件，其特征在于，具备：

权利要求1～7中的任一项所述的接合体、以及

设置在所述压电性材料基板上的电极。

9.根据权利要求8所述的弹性波元件，其特征在于，

所述弹性波元件用于频率3.5～6GHz的弹性波。