[发明专利]用于与激光射束一起使用的空间频率滤光器装置、具有这种空间频率滤光器装置的空间频率滤光器布置以及用于对激光射束进行空间频率滤光的方法

权利要求书

1.一种用于与激光射束(200)一起使用的空间频率滤光器装置(100)，具有

-中性区域(110)，所述中性区域设置用于透射或反射所述激光射束(200)，

-径向邻接到所述中性区域(110)上的偏转区域(120)，所述偏转区域设置用于使所述激光射束(200)的射束分量(210)从所述激光射束(200)的射束轴(A)偏转，其中，

-所述偏转区域(120)具有恒定部分(123)，在所述恒定部分中，对于所述恒定部分(123)中的每个位置，对所述激光射束(200)的射束分量(210)的偏转效应与所述位置距所述中性区域(110)的距离无关，并且其中，

-所述偏转区域(120)具有变化部分(125)，在所述变化部分中，对所述激光射束(200)的射束分量(210)的偏转效应根据距所述中性区域(110)的距离而变化。

2.根据权利要求1所述的空间频率滤光器装置(100)，其特征在于，所述中性区域(110)居中布置，并且在外侧被所述偏转区域(120)包围，所述变化部分(125)布置在所述中性区域(110)与所述恒定部分(123)之间。

3.根据前述权利要求中任一项所述的空间频率滤光器装置(100)，其特征在于，在所述变化部分(125)中，对所述激光射束(200)的射束分量(210)的偏转效应随着距所述中性区域(110)的距离的增加而增加。

4.根据前述权利要求中任一项所述的空间频率滤光器装置(100)，其特征在于，所述偏转区域(120)具有相位影响结构(126)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的空间频率滤光器装置(100)，其特征在于，所述相位影响结构(126)构造为衍射偏转结构(127)，其中，所述衍射偏转结构(127)是周期性的并且在所述恒定部分(123)中具有恒定调制幅度(a)，其中，所述衍射偏转结构(127)的调制幅度(a)在所述变化部分(125)中变化。

6.根据前述权利要求中任一项所述的空间频率滤光器装置(100)，其特征在于，对所述激光射束(200)的射束分量(210)的偏转效应根据距所述中性区域(110)的距离的确定的函数而变化，优选地根据高斯函数或根据线性函数而变化。

7.根据前述权利要求中任一项所述的空间频率滤光器装置(100)，其特征在于，所述空间频率滤光器装置(100)具有滤光器主体(130)，在所述滤光器主体上构造所述中性区域(110)，其中，所述偏转区域(120)施加在所述滤光器主体(130)或引入所述滤光器主体(130)中。

8.根据前述权利要求中任一项所述的空间频率滤光器装置(100)，其特征在于，所述中性区域(110)具有中性宽度尺寸(NB)，其中，

a)所述中性宽度尺寸(NB)是待滤光的激光射束(200)的射束宽度尺寸(SB)的至少5％至至多130％，优选地20％至至多60％，优选地至少60％至至多100％，并且/或者

b)所述变化部分(125)的变化宽度尺寸(VB)是所述中性宽度尺寸(NB)的至少10％至至多150％，优选地至少10％至至多40％，优选地30％，优选地至少40％至至多150％，优选地100％。

9.根据前述权利要求中任一项所述的空间频率滤光器装置(100)，其特征在于，所述空间频率滤光器装置(100)构造为透射光阑、透镜、保护玻璃、光纤端盖或反射镜。

10.根据前述权利要求中任一项所述的空间频率滤光器装置(100)，其特征在于，所述衍射偏转结构(127)被蚀刻到所述滤光器主体(130)中，或者作为体积修改引入所述滤光器主体(130)中。

11.一种用于激光射束(200)的空间频率滤光器布置(300)，所述空间频率滤光器布置具有根据权利要求1至10中任一项所述的空间频率滤光器装置(100)并且具有恒定滤光装置(320)。