[发明专利]用于与激光射束一起使用的空间频率滤光器装置、具有这种空间频率滤光器装置的空间频率滤光器布置以及用于对激光射束进行空间频率滤光的方法

说明书

本发明涉及一种用于与激光射束(200)一起使用的空间频率滤光器装置(100)，该空间频率滤光器装置具有中性区域(110)和偏转区域(120)，该中性区域设置成透射或反射该激光射束(200)，该偏转区域与该中性区域(110)径向邻接并且设置成使该激光射束(200)的射束分量(210)从该激光射束(200)的射束轴(A)偏转，其中，该偏转区域(120)具有恒定部分(123)，在该恒定部分中，对于该恒定部分(123)中的每个位置，对该激光射束(200)的射束分量(210)的偏转效应与该位置距该中性区域(110)的距离无关，并且其中，该偏转区域(120)具有变化部分(125)，在该变化部分中，对该激光射束(200)的射束分量(210)的偏转效应根据距该中性区域(110)的距离而变化。

技术领域

本发明涉及一种用于与激光射束一起使用的空间频率滤光器装置(Ortsfrequenzfiltereinrichtung)、一种用于激光射束的空间频率滤光器布置以及一种用于对激光射束进行空间频率滤光的方法。

背景技术

德国公开专利申请DE 10 2004 058 044 A1披露了一种用于对激光射束进行空间频率滤光的空间频率滤光器装置，该空间频率滤光器装置具有至少部分地对激光辐射透明的透射主体、和具有孔并且邻近透射主体布置或集成在透射主体中的元件，该元件具有衍射和/或折射偏转结构。借助这种衍射光阑，激光射束的不期望的光分量被有目的地衍射到明确定义的立体角，在那里它们可以被高效地吸收。例如，这种衍射光阑或孔径光阑可以在用于激光辐射的传输光纤的出口处提供对离开传输光纤的射束的限制并保护后方部件。这种光阑的衍射区域避免了边缘场与相应的光阑几何的相互作用、尤其是与由于生产原因并非最佳并且可能影响有用射束的传播性能的光阑边缘区域的相互作用。在没有衍射区域的孔径光阑的情况下，可能出现具有不理想传播方向的虚光源，对后方光学器件或待加工工件产生不利影响。

虽然这可以借助例如从DE 10 2004 058 044 A1获知的衍射光阑得以避免，但是将其用于对覆盖在主射束或有用射束(Nutzstrahl)上的不期望的射束分量进行滤光是困难的或根本不可能的。事实证明，这些不期望的射束分量与实际有用射束或主射束重叠越多，这就越困难。

发明内容

本发明基于的任务是提供一种空间频率滤光器装置、一种空间频率滤光器布置以及一种用于对激光射束进行空间频率滤光的方法，其中不会出现上述缺点。

该任务通过提供本发明的技术教导来实现，尤其是独立权利要求的技术教导以及从属权利要求和说明书中披露的实施方式的技术教导来实现。

该任务尤其通过提供一种用于与激光射束一起使用的空间频率滤光器装置来实现，所述空间频率滤光器装置具有中性区域，该中性区域设置用于透射或反射激光射束。空间频率滤光器装置具有径向邻接到中性区域上的偏转区域，该偏转区域设置用于使激光射束的射束分量从激光射束的射束轴偏转。偏转区域具有恒定部分(Konstantabschnitt)，在该恒定部分中，对于恒定部分中的每个位置，对激光射束的射束分量的偏转效应与该位置距中性区域的距离无关。偏转区域还具有变化部分(Variationsabschnitt)，在该变化部分中，对激光射束的射束分量的偏转效应根据距中性区域的距离而变化。借助偏转区域的恒定部分，能够将与主射束或有用射束充分分离的不期望的射束分量可靠且有效地偏转并因此滤光。另一方面，偏转区域的变化部分允许对非常靠近主射束或有用射束布置或与其重叠的不期望的射束分量进行尤其是逐渐滤光，而在此不会不利地影响或过度削减(beschneiden)主射束或有用射束。因此，在此提出的空间频率滤光器装置提供了用于对激光射束进行滤光、尤其是还用于移除覆盖在主射束或使用射束上的不期望的射束分量的改进的可能性。

中性区域尤其是空间频率滤光器装置的以下区域，在该区域中激光射束不受干扰地、也就是说尤其是激光射束的射束分量没有从射束轴偏转地透射或反射。因此，中性区域尤其设置用于不受干扰地透射或反射激光射束。