[发明专利]电流源装置和方法在审

专利信息
申请号: 202080029654.0 申请日: 2020-04-03
公开(公告)号: CN113711330A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 王義向;王燕秋;何晓东;叶国凡 申请(专利权)人: ASML荷兰有限公司
主分类号: H01J37/141 分类号: H01J37/141;H01J37/24
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 赵林琳
地址: 荷兰维*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电流 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种电源单元,包括:

受控电压源,被布置为接收电压控制输入信号,并且适于至少部分基于所述电压控制输入信号来在受控电压输出处提供受控电压;以及

直流源,具有电流源输入和电流源输出,所述电流源输入被布置为接收所述受控电压输出。

2.根据权利要求1所述的电源单元,其中所述直流源包括可编程线性电流源。

3.根据权利要求1所述的电源单元,其中所述直流源被布置为向带电粒子操作器中的负载供应电流。

4.根据权利要求3所述的电源单元,其中带电粒子操作器中的所述负载包括透镜线圈。

5.根据权利要求1所述的电源单元,还包括电路,所述电路被布置为:感测跨所述直流源的电压降的幅度,并且适于至少部分基于所述电压降的幅度来生成所述电压控制输入信号。

6.根据权利要求1所述的电源单元,其中

所述直流源包括可编程线性电流源输出,并且被布置为向带电粒子操作器中的负载供应电流,以及

所述电压控制输入信号具有指示跨所述可编程线性电流源的电压降的幅度的值,并且其中

所述受控电压源被控制使得跨所述可编程线性电流源的电压降保持在操作范围内。

7.根据权利要求6所述的电源单元,其中所述操作范围是可编程范围。

8.根据权利要求6所述的电源单元,其中所述操作范围是可预设范围。

9.根据权利要求6所述的电源单元,其中所述操作范围是预定范围。

10.根据权利要求6所述的电源单元,其中带电粒子操作器中的所述负载包括透镜线圈。

11.一种向电流源负载供电的方法,所述方法包括以下步骤:

至少部分基于电压控制输入信号,生成受控电压;

向直流源供应所述受控电压;

使用所述直流源来生成驱动电流;以及

向所述电流源负载供应所述驱动电流。

12.根据权利要求11所述的方法,还包括以下步骤:

感测跨所述直流源的电压降;以及

至少部分基于所述电压降,生成所述电压控制输入信号。

13.根据权利要求11所述的方法,其中所述直流源包括可编程线性电流源。

14.根据权利要求13所述的方法,还包括以下步骤:

感测跨所述可编程线性电流源的电压降;以及

至少部分基于所述电压降,生成所述电压控制输入信号。

15.根据权利要求11所述的方法,其中至少部分基于跨诸如可编程线性电流源的所述直流源的电压降来生成所述电压控制输入信号的步骤被执行,使得跨诸如可编程线性电流源的所述直流源的电压降保持在操作范围内。

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