[发明专利]电流源装置和方法

说明书

在其他方面中公开了一种诸如可以用在带电粒子检查系统中的电源。该电源包括直流源，诸如连接到受控电压源的可编程线性电流源，其中用于受控电压源的控制信号从跨直流源测量的电压降被导出。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年4月19日提交的美国申请62/836,282的优先权，该申请通过引用整体并入本文。

技术领域

本文中提供的实施例涉及一种电流源，诸如可以被用来利用一个或多个带电粒子束向在带电粒子操作器中诸如透镜的负载供应电流的电流源(例如，使用一个或多个电子束的电子显微镜装置)。

背景技术

集成电路是通过在晶片(也称为衬底)上创建图案而制成的。晶片被支撑在用于创建图案的设备中的晶片台上。用于制造集成电路的过程的一个部分涉及查看或“检查”晶片的各个部分。这可以利用诸如扫描电子显微镜或SEM的带电粒子操作器来完成。

光学显微镜使用可见光和(多个)透明透镜或(多个)反射镜来使小至约一微米的物体可见。光学显微镜的分辨力受到用于照射的光的波长限制。带电粒子操作器使用带电粒子束代替光，并且使用电磁或电磁/电透镜来聚焦粒子。它们可以使小至十分之一纳米的特征可见。

带电粒子操作器包括具有元件的柱，该元件类似于光学显微镜的元件。光学显微镜的光源被替换为带电粒子源，带电粒子源内置在柱中。带电粒子操作器具有电磁或电磁/电透镜，而不是玻璃透镜。这些透镜的性能(焦距)可以通过改变通过透镜线圈的电流来改变。需要改进向透镜线圈提供电流的电流驱动器。

发明内容

为了提供对实施例的基本理解，以下呈现了一个或多个实施例的简化概述。该概述不是所有预期实施例的广泛概述，并且不旨在标识所有实施例的关键或基本要素，也不旨在界定任何或所有实施例的范围。其唯一目的是以简化形式呈现一个或多个实施例的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的前奏。

根据实施例的一方面，公开了一种电源单元，该电源单元包括受控电压源和直流源，该受控电压源被布置为接收电压控制输入信号，并且适于至少部分基于电压控制输入信号来在受控电压输出处提供受控电压，该直流源(诸如可编程线性电流源)具有电流源输入和电流源输出，电流源输入被布置为接收受控电压输出。电流源输出可以被布置为向负载供应电流，该负载可以是带电粒子操作器中的透镜。电源单元还可以包括电路，该电路被布置为感测跨直流源的电压降的幅度并且适于至少部分基于电压降的幅度来生成电压控制输入信号。受控电压源可以被控制使得跨直流源的电压降保持在可编程范围、可预设范围或预定范围内。

根据实施例的另一方面，公开了一种带电粒子操作器系统中的透镜，该系统包括受控电压源、直流源、带电粒子操作器中的负载、以及电路，该受控电压源被布置为接收电压控制输入信号并且适于至少部分基于电压控制输入信号来在受控电压输出处提供受控电压，该直流源(诸如可编程线性电流源)被布置为接收受控电压输出并且适于供应受控电流，该负载(诸如透镜线圈)被布置为接收受控电流，该电路被布置为感测跨直流源(诸如可编程线性电流源)的电压降的幅度，并且适于至少部分基于电压降的幅度来生成电压控制输入信号。受控电压源可以被控制使得跨直流源(诸如可编程线性电流源)的电压降保持在可编程范围、可预设范围或预定范围内。

根据实施例的另一方面，公开了一种向带电粒子操作器中的负载(诸如透镜线圈)供电的方法，该方法包括：至少部分基于电压控制输入信号，生成受控电压；向直流源(诸如可编程线性电流源)供应受控电压；使用直流源来生成驱动电流；以及向带电粒子操作器中的负载供应驱动电流。该方法还可以包括：感测跨直流源(诸如可编程线性电流源)的电压降；以及至少部分基于该电压降，生成电压控制输入信号。至少部分基于跨直流源(诸如可编程线性电流源)的电压降来生成电压控制输入信号的步骤可以被执行，使得跨直流源(诸如可编程线性电流源)的电压降保持在可编程范围、可预设范围或预定范围内。