[发明专利]工件的切断方法及线锯在审
| 申请号： | 202080030275.3 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113710397A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 小林健司 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B23D61/18 | 分类号： | B23D61/18;B24B27/06;B24B55/02;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;敖莲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 切断 方法 | ||
1.一种工件的切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，一边将冷却剂供给至所述固定磨粒金属线，并使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其中，所述工件经由贴附于该工件的接合部件而通过工件保持装置进行保持，其特征在于，
在所述工件的切断结束后且从所述金属线列拉出所述工件时，将所述冷却剂的流量设定为180L/min以上，并将所述固定磨粒金属线在轴向的移动速度设定为6m/min以上30m/min以下。
2.根据权利要求1所述的工件的切断方法，其特征在于，
将所述冷却剂的流量设定为250L/min以下。
3.一种线锯，其具备：
金属线列，其通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成；
冷却剂供给机构，其将冷却剂供给至所述固定磨粒金属线；以及
工件进给机构，其一边经由贴附于工件的接合部件通过工件保持装置保持所述工件，一边将该工件向所述金属线列切入进给，
所述线锯通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边使用所述工件进给机构将所述工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，
其特征在于，
在所述工件的切断结束后且从所述金属线列拉出所述工件时，将所述冷却剂的流量设定为180L/min以上，并将所述固定磨粒金属线在轴向的移动速度设定为6m/min以上30m/min以下。
4.根据权利要求3所述的线锯，其特征在于，
所述冷却剂的流量为250L/min以下。
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