[发明专利]工件的切断方法及线锯

说明书

本发明提供一种工件的切断方法，其通过线锯进行，通过将固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，一边将冷却剂供给至固定磨粒金属线，并使固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向金属线列切入进给，从而将工件在轴向排列的多个位置同时切断，其中，所述工件通过工件保持装置进行保持，其特征在于，在工件的切断结束后且从所述金属线列拉出所述工件时，将冷却剂的流量设定为180L/min以上，并将固定磨粒金属线在轴向的移动速度设定为6m/min以上30m/min以下。由此，提供一种工件的切断方法，其在切断工件后拉出金属线的过程中，不会发生固定磨粒金属线卡住于工件而产生锯痕或发生固定磨粒金属线断线的情况。

技术领域

本发明涉及一种工件的切断方法及线锯。

背景技术

过去，作为从硅锭及化合物半导体铸块等切出晶圆的装置，已知线锯。在该线锯中，通过将多个切断用金属线卷绕于多个滚轮的周围而形成金属线列，使该切断用金属线沿轴向高速驱动，并且一边适当供给浆料一边使工件对该金属线列切入进给，从而该工件在金属线列的各位置被同时切断(参考专利文献1)。

在此，图3显示现有的一般线锯的一例的概要。如图3所示，该线锯101主要由以下部件构成：用于将工件W’切断的金属线102(高张力钢线)、卷绕有金属线102的带沟滚轮103、103’、将金属线102卷绕于多个带沟滚轮103、103’而形成的金属线列130、调整金属线102的张力的张力调整机构104、104’、将进行切断的工件W’向下方送出的工件进给机构105及在切断时供给浆料的浆料供给机构106。

金属线102从一个金属线卷盘107送出，经过横臂(日语：トラバーサ)108、滑轮109及张力调整机构104，于带沟滚轮103、103’卷绕约300～500周后，经过另一个张力调整机构104’、滑轮109’及横臂108’而卷绕于金属线卷盘107’。

另外，带沟滚轮103、103’是在钢铁制圆筒的周围压入聚氨酯树脂，并在其表面以大致一定的节距切出沟的滚轮，卷绕的金属线102通过带沟滚轮驱动马达110而能够在一个方向上、或者以预定的周期在往复方向上驱动。

金属线卷盘107、107’通过金属线卷盘驱动马达111、111’进行旋转驱动，通过分别控制带沟滚轮驱动马达110与金属线卷盘驱动马达111、111’的速度，能够调整作用于金属线102的张力。

另外，如图4所示，将图3的工件W’向下方送出的工件进给机构105具有由工件保持部112、工件板113构成的工件保持装置114，工件W’通过贴附于工件W’的接合部件(梁)而粘接于工件板113。

在切断工件W’时，工件W’由工件进给机构105保持并被相对地按下，向金属线列130送出，该金属线列130由卷绕于带沟滚轮103的金属线构成。

在使用这样的线锯101时，使用张力调整机构104、104’对金属线102施加适当的张力，一边通过金属线卷盘驱动马达111、111’使金属线102沿往复方向移动，一边从浆料供给机构106供给浆料，并通过工件进给机构105将工件W’切入进给，由此切断工件W’。

另一方面，已知不使用含有磨粒的浆料，而改为使用将金刚石磨粒等固定于金属线表面的固定磨粒金属线而将工件切断的方法，其在直径约为150mm以下的小直径铸块的切断中已部分地实际应用。

在该固定磨粒金属线进行的切断中，代替如图3所示的线锯的钢线金属线而装设固定磨粒金属线，将浆料变更为不含磨粒的冷却水等冷却剂，从而能够直接使用一般的线锯。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-262826号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题