[发明专利]化合物、产酸剂、组合物、固化物及图案以及固化物及图案的制造方法在审

专利信息
申请号: 202080030294.6 申请日: 2020-09-08
公开(公告)号: CN113727971A 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 松井依纯;中屋敷哲千;有吉智幸 申请(专利权)人: 株式会社艾迪科
主分类号: C07D209/14 分类号: C07D209/14;C07D405/10;G03F7/039
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 张楠
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 化合物 产酸剂 组合 固化 图案 以及 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种化合物,其以下述通式(A)表示,

式中,R11、R12、R14、R15、R16及R17分别独立地表示氢原子、卤素原子、硝基、氰基、-OR20、-COR20、-OCOR20、-COOR20、-SR20、-SOR20、-SO2R20、-NR21R22、-NR21COR22、-CONR21R22、下述通式(1)所表示的基团、碳原子数1~20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基、碳原子数6~20的无取代或具有取代基的含芳香族烃环基团、碳原子数2~20的无取代或具有取代基的含杂环基团、或者所述脂肪族烃基、所述含芳香族烃环基团或所述含杂环基团中的1个以上亚甲基被选自下述组I中的二价基团取代而得到的基团,

R13表示碳原子数1~20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基、碳原子数6~20的无取代或具有取代基的含芳香族烃环基团、碳原子数2~20的无取代或具有取代基的含杂环基团、芳香族烃环中的1个以上氢原子被下述通式(1)所表示的基团取代而得到的碳原子数7~30的无取代或具有取代基的芳基即第1芳基、或者所述脂肪族烃基、所述含芳香族烃环基团、所述含杂环基团或所述第1芳基中的1个以上亚甲基被选自下述组I中的二价基团取代而得到的基团,

R20、R21及R22分别独立地表示氢原子、碳原子数1~20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基、碳原子数6~20的无取代或具有取代基的含芳香族烃环基团、碳原子数2~20的无取代或具有取代基的含杂环基团、或者所述脂肪族烃基、所述含芳香族烃环基团或所述含杂环基团中的1个以上亚甲基被选自下述组I中的二价基团取代而得到的基团,在存在多个R20、R21或R22的情况下,它们可以相同,也可以不同,

R11与R12、R14与R15、R15与R16、R16与R17也可以键合而形成环,

取代所述具有取代基的脂肪族烃基、所述具有取代基的含芳香族烃环基团、所述具有取代基的含杂环基团及所述第1芳基中的1个以上氢原子的取代基为卤素原子、氰基、硝基、羟基、硫醇基、-COOH或-SO2H,

R11、R12、R14、R15、R16及R17中的1个以上为下述通式(1)所表示的基团、或者R13为所述第1芳基;

式中,R1表示碳原子数1~20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基、碳原子数6~20的无取代或具有取代基的含芳香族烃环基团、碳原子数2~20的无取代或具有取代基的含杂环基团、或者所述脂肪族烃基、所述含芳香族烃环基团或所述含杂环基团中的1个以上亚甲基被选自下述组I中的二价基团取代而得到的基团,

R2表示氢原子、卤素原子、硝基、氰基、碳原子数1~20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基、碳原子数6~20的无取代或具有取代基的含芳香族烃环基团、碳原子数2~20的无取代或具有取代基的含杂环基团、或者所述脂肪族烃基、所述含芳香族烃环基团或所述含杂环基团中的1个以上亚甲基被选自下述组I中的二价基团取代而得到的基团,

取代所述具有取代基的脂肪族烃基、所述具有取代基的含芳香族烃环基团及所述具有取代基的含杂环基团中的1个以上氢原子的取代基为卤素原子、氰基、硝基、羟基、硫醇基、-COOH或-SO2H,

n表示0或1,

在所述通式(A)所表示的化合物中存在多个所述通式(1)所表示的基团的情况下,多个存在的n、R1及R2可以分别相同,也可以不同,

*表示键合部位;

组I:-O-、-COO-、-OCO-、-CO-、-CS-、-S-、-SO-、-SO2-、-NR30-、-NR30-CO-、-CO-NR30-、-NR30-COO-、-OCO-NR30-、-SiR30R31-、-CO-CO-、CO-CO-O-

R30及R31分别独立地表示氢原子或碳原子数1~20的无取代的脂肪族烃基,在存在多个R30或R31的情况下,它们可以相同,也可以不同。

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