[发明专利]机器人控制装置、机器人以及机器人控制方法

说明书

一种机器人控制装置，用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制，其特征在于，在末端执行器位于比载置位置靠上方的第1示教点时，成为末端执行器保持基板而在载置位置未载置基板的第1状态，在末端执行器位于比载置位置靠下方的第2示教点时，成为末端执行器不保持基板而在载置位置载置基板的第2状态，通过使机器人进行末端执行器从第1及第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作，从而能够在第1状态与第2状态之间进行切换，在第1动作的中途，不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断，且不使末端执行器停止。

技术领域

本发明涉及机器人控制装置、机器人以及机器人控制方法。

背景技术

以往以来，公知用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制的机器人控制装置。例如，在专利文献1的基板搬运装置中提出了这样的机器人控制装置。

专利文献1的基板搬运装置具备壳体、和设置于壳体的上表面的机器人臂。该机器人臂具备安装于壳体的上表面的上臂、安装于上臂的前端的前臂、以及安装于前臂的前端的末端执行器。另外，基板定位器具备基部、安装于该基部的基板保持部、以及用于对设置于基板的特征部分(例如，切口等)进行检测的传感器。而且，基板定位器的基部、基板保持部以及由该基板保持部保持的基板构成为穿过末端执行器的基板保持齿。

专利文献1：日本特表2017-505994号公报

对于如在专利文献1中提出的那样的以往以来既有的机器人控制装置而言，一般进行末端执行器是否通过了用于载置基板的载置位置的判断。但是，为了进行该判断，有时不能迅速地执行保持基板并对其进行搬运的作业。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供能够迅速地执行保持基板并对该基板进行搬运的作业的机器人控制装置、机器人以及机器人控制方法。

为了解决上述课题，本发明所涉及的机器人控制装置是用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制的机器人控制装置，其特征在于，上述机器人具备具有至少1个关节轴的机器人臂、和设置于上述机器人臂的前端并用于保持上述基板的末端执行器，并且与用于载置上述基板的载置位置邻接地配置，在上述末端执行器位于比上述载置位置靠上方的第1示教点时，成为上述末端执行器保持上述基板而在上述载置位置未载置上述基板的第1状态，在上述末端执行器位于比上述载置位置靠下方的第2示教点时，成为上述末端执行器未保持上述基板而在上述载置位置载置上述基板的第2状态，通过使上述机器人进行上述末端执行器从上述第1示教点及上述第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作，从而能够在上述第1状态与上述第2状态之间进行切换，在上述第1动作的中途，不进行上述末端执行器是否通过了上述载置位置的判断，且不使上述末端执行器停止。

根据上述结构，本发明所涉及的机器人控制装置在上述第1动作的中途，不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断，且不使末端执行器停止。其结果是，本发明所涉及的机器人控制装置能够迅速地进行保持基板并进行搬运的作业。

为了解决上述课题，本发明所涉及的机器人控制方法是用于对保持并搬运基板的机器人的动作进行控制的机器人控制方法，其特征在于，上述机器人具备：具有至少1个关节轴的机器人臂、和设置于上述机器人臂的前端并用于保持上述基板的末端执行器，并且与用于载置上述基板的载置位置邻接地配置，在上述末端执行器位于比上述载置位置靠上方的第1示教点时，成为上述末端执行器保持上述基板而在上述载置位置未载置上述基板的第1状态，在上述末端执行器位于比上述载置位置靠下方的第2示教点时，成为上述末端执行器未保持上述基板而在上述载置位置载置上述基板的第2状态，上述机器人控制方法具备：第1步骤，使上述末端执行器位于上述第1示教点及上述第2示教点中的任一个；和第2步骤，在进行上述第1步骤后，通过使上述机器人进行上述末端执行器从上述第1示教点及上述第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作，从而在上述第1状态与上述第2状态之间进行切换，在上述第1动作的中途，不进行上述末端执行器是否通过了上述载置位置的判断，且不使上述末端执行器停止。