[发明专利]固态二次电池的制造装置及固态二次电池的制造方法

权利要求书

1.一种固态二次电池的制造装置，包括：

掩模对准室；

与所述掩模对准室相连的第一传送室；

与所述第一传送室相连的第二传送室；

与所述第二传送室相连的第一成膜室；

与所述第一传送室相连的第三传送室；以及

与所述第三传送室相连的第二成膜室，

其中，所述第一成膜室具有通过溅射法形成正极活性物质层或负极活性物质层的功能，

所述第二成膜室具有进行锂的有机配合物与SiO_X(0X≤2)的共蒸镀来形成固体电解质层的功能，

并且，从所述掩模对准室到所述第一成膜室以及从所述掩模对准室到所述第二成膜室在不暴露于大气的状态下将衬底传送。

2.根据权利要求1所述的固态二次电池的制造装置，还包括与所述第二传送室相连的加热室。

3.根据权利要求1或2所述的固态二次电池的制造装置，

其中所述锂的有机配合物为8-羟基喹啉-锂。

4.一种固态二次电池的制造方法，包括如下步骤：

以与绝缘表面上接触的方式形成第一导电层；

在所述第一导电层上形成负极活性物质层；

在所述负极活性物质层上进行锂的有机配合物与SiO_Ⅹ(0Ⅹ≤2)的共蒸镀来形成固体电解质层；

在所述固体电解质层上形成第一正极活性物质层；

以与所述绝缘表面上接触的方式在所述第一正极活性物质层上形成第二导电层；以及

在所述第二导电层上形成第二正极活性物质层，

其中，所述固体电解质层与所述负极活性物质层的侧面接触，

所述第二导电层与所述固体电解质层的部分侧面接触，

并且，所述第一正极活性物质层和所述第二正极活性物质层不重叠。

5.根据权利要求4所述的固态二次电池的制造方法，

其中所述锂的有机配合物为8-羟基喹啉-锂。

6.根据权利要求4或5所述的固态二次电池的制造方法，

其中将同一溅射靶材用于所述第一正极活性物质层和所述第二正极活性物质层。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的固态二次电池的制造方法，其中将同一溅射靶材用于所述第一导电层和所述第二导电层。