[发明专利]固态二次电池的制造装置及固态二次电池的制造方法

说明书

本发明的课题之一是实现一种能够使固态二次电池的制造全自动化的制造装置。本发明的制造装置包括掩模对准室、与掩模对准室相连的第一传送室、与第一传送室相连的第二传送室、与第二传送室相连的第一成膜室、与第一传送室相连的第三传送室以及与第三传送室相连的第二成膜室，第一成膜室具有通过溅射法形成正极活性物质层或负极活性物质层的功能，第二成膜室具有进行锂的有机配合物与SiOx(0x≤2)的共蒸镀来形成固体电解质层的功能，从掩模对准室到第一成膜室以及从掩模对准室到第二成膜室在不暴露于大气的状态下将衬底传送。

技术领域

本发明的一个方式涉及一种物品、方法或者制造方法。此外，本发明涉及一种工序(process)、机器(machine)、产品(manufacture)或者组合物(composition of matter)。本发明的一个方式涉及一种半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、照明装置或电子设备及其制造方法。尤其是，涉及一种蓄电装置的制造方法及制造装置。

在本说明书中，电子设备是指具有蓄电装置的所有装置，具有蓄电装置的电光装置、具有蓄电装置的信息终端装置等都是电子设备。

背景技术

近年来，对使用者携带的电子设备或使用者穿戴的电子设备的开发非常活跃。

使用者携带的电子设备或使用者穿戴的电子设备将作为蓄电装置的一个例子的一次电池或二次电池用作电源而工作。对使用者携带的电子设备期待可长时间利用，因此可以使用大容量的二次电池。但是当将大容量的二次电池内置于电子设备时，因为大容量的二次电池体积较大，所以有重量大的问题。于是，对能够内置于携带的电子设备的小型或薄型且大容量的二次电池进行了开发。

作为用来使作为载体离子的锂离子迁移的介质使用有机溶剂等电解液的锂离子二次电池很普及。但是，使用液体的二次电池有如下问题：因为使用液体，所以伴随使用温度范围或使用电位而发生电解液分解反应以及向二次电池外部漏液。此外，使用电解液的二次电池有由漏液导致起火的风险。

作为不使用液体的二次电池，有燃料电池，但是它是使用贵金属作为电极且固体电解质的材料也昂贵的器件。

此外，作为不使用液体的二次电池，已知使用固体电解质的被称为固态电池的蓄电装置。例如，在专利文献1中公开。

专利文献1公开通过溅射法在正极集流体上形成钴酸锂膜的例子。

[先行技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]美国专利第8404001号说明书

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明的课题之一是实现一种能够使固态二次电池的制造全自动化的制造装置。另外，本发明的课题之一是实现一种能够以短时间制造固态二次电池的制造装置。另外，本发明的课题之一是实现一种能够以高成品率制造固态二次电池的制造装置。

另外，本发明的课题之一是提供一种在不暴露于大气的状态下制造固态二次电池的方法。

解决技术问题的手段

本说明书所公开的制造装置是固态二次电池的制造装置，具有如下结构：包括掩模对准室、与掩模对准室相连的第一传送室、与第一传送室相连的第二传送室、与第二传送室相连的第一成膜室、与第一传送室相连的第三传送室以及与第三传送室相连的第二成膜室，在第一成膜室中通过溅射法形成正极活性物质层或负极活性物质层，在第二成膜室中进行锂的有机配合物与SiO_X(0X≤2)的共蒸镀来形成固体电解质层，从掩模对准室到第一成膜室以及从掩模对准室到第二成膜室在不暴露于大气的状态下将衬底传送。