[发明专利]防止材料注入的材料滴落在审

专利信息
申请号: 202080032904.6 申请日: 2020-05-04
公开(公告)号: CN113767457A 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 青木丰广;中村英司;久田隆史 申请(专利权)人: 国际商业机器公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 申发振
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 防止 材料 注入 滴落
【权利要求书】:

1.一种用于注入材料的注入装置,所述装置包括:

罐,用于储存材料;

头主体,其具有用于与基底接触的表面和在所述表面处开口的开口部分,所述开口部分用于排出与所述罐流体连通的所述材料;以及

至少一个构件,连接至所述开口部,所述至少一个构件允许气体流入和流出所述开口部。

2.根据权利要求1所述的注入装置,其中,所述开口部具有狭缝的形式,并且所述至少一个构件中的每一个在远离所述狭缝的中间的位置处连接至所述开口部。

3.根据权利要求2所述的注入装置,其中,所述至少一个构件包括第二罐,所述第二罐配备有用于打开和关闭所述第二罐与外部之间的通道的阀。

4.根据权利要求3所述的注入装置,其中,所述头主体包括连接至所述罐的第一连接通道和连接至所述第二罐的第二连接通道,所述开口部分具有连接至所述第一连接通道的第一端和连接至所述第二连接通道的第二端。

5.根据权利要求2所述的注入装置,其中,所述至少一个构件中的每一个包括多孔构件,所述多孔构件在将所述气体与所述材料分离的同时允许所述气体流过所述多孔构件。

6.根据权利要求5所述的注入装置,其中,所述至少一个构件包括两个构件,并且所述头主体包括分别连接至所述罐的第一连接通道和分别连接至所述两个构件的两个第二连接通道,所述第一连接通道连接至所述开口部分的中间,所述开口部分具有分别连接至所述两个第二连接通道的第一端和第二端。

7.根据权利要求2所述的注入装置,其中,所述至少一个构件中的每一个均包括在所述头主体处开放的一个或多个孔,所述一个或多个孔允许所述气体流过所述一个或多个孔。

8.根据权利要求2所述的注入装置,其中,所述至少一个构件中的每一个均包括延伸管,所述延伸管配备有用于打开和关闭所述延伸管与外部之间的通道的阀。

9.根据权利要求2所述的注入装置,其中,所述储罐配备有开关元件,所述开关元件被配置为打开或关闭并且根据操作状态连接至周围环境、正压管线或真空管线。

10.根据权利要求2所述的注入装置,其中,所述注入设备被配置为在所述基底上被扫描,所述开口部分被所述基底覆盖并且被所述材料填充。

11.根据权利要求2所述的注入装置,其中,所述注入装置被配置为响应于完成所述材料从所述开口部分到所述罐的输送并且密封或真空所述罐而从所述基底被抬升。

12.根据权利要求2所述的注入装置,其中,所述材料是熔融焊料,所述注入设备是注塑焊接(IMS)头并且所述熔融焊料注入到形成在所述基底的表面处的孔或腔中。

13.一种用于注入材料的方法,所述方法包括:

将注入装置放置在基底上,该注入装置包括用于储存材料的罐;头主体,所述头主体具有与所述基底接触的表面以及在所述表面处开口并且被所述基底覆盖的开口部;以及至少一个构件,连接到所述开口部分,所述至少一个构件允许气体从中流过;

从所述开口部排出所述材料;以及

在通过所述至少一个构件将气体引入所述开口部的同时,将填充在所述开口部中的所述材料输送至所述注入装置的所述罐。

14.根据权利要求13所述的方法,其中,所述开口部分具有狭缝的形式,并且所述至少一个构件中的每一个在远离所述狭缝的中间的位置处连接至所述开口部分。

15.根据权利要求14所述的方法,其中,所述至少一个构件包括第二罐,所述第二罐配备有用于打开和关闭所述第二罐与外部之间的通道的阀,所述气体通过所述阀和所述第二罐被带入所述开口部中。

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