[发明专利]检查系统

权利要求书

1.一种检查系统，其中，

该检查系统具有：

中空的探针，其沿着中心轴线呈棒状延伸，绕所述中心轴线旋转；

光学系统，其经由所述探针沿着所述中心轴线供给检查用的激光，并接收沿着所述中心轴线返回来的来自被检查物的表面的反射光；

光学元件，其借助所述探针的前端的开口相对于所述中心轴线使所述检查用的激光朝向所述被检查物射出，并且将所述反射光向所述中心轴线方向引导；以及

气体供给系统，其使气体经过所述探针而从所述开口排出。

2.根据权利要求1所述的检查系统，其中，

该检查系统还具有：

保持件，其支承所述探针，该保持件被驱动而旋转；

不旋转的内筒部，其为中空，在所述保持件的内部设为与该保持件同轴状，在与所述保持件之间配置有轴承单元；以及

不旋转的光纤，其借助所述内筒部插入于所述探针，

所述气体供给系统包括借助所述内筒部向所述探针内供给所述气体的气体供给路径。

3.根据权利要求2所述的检查系统，其中，

该检查系统还具有：

圆筒状的鞘管，其覆盖所述光纤，并且借助套筒与所述内筒部连接；以及

透镜，其安装于所述鞘管的前端，

所述气体供给路径包括连接路径，该连接路径通过将所述套筒的局部去除而将所述内筒部的内部与所述探针的内侧且是所述鞘管的外侧的区域连接。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的检查系统，其中，

该检查系统还具有使包括所述探针的检查头绕所述中心轴线旋转的驱动单元。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的检查系统，其中，

所述被检查物包括供所述探针插入的中空部分，

该检查系统还具有使所述探针和所述被检查物沿着所述中心轴线相对地移动的移动单元。