[发明专利]检查系统

说明书

检查系统(1)具有：中空的探针(12)，其沿着中心轴线(11)呈棒状延伸，绕中心轴线旋转；光学系统(30)，其经由探针沿着中心轴线供给检查用的激光，并接收沿着中心轴线返回来的来自被检查物的表面的反射光；光学元件(50)，其借助探针的前端的开口(13)相对于中心轴线使检查用的激光朝向被检查物射出，并且将反射光向中心轴线方向引导；以及气体供给系统(80)，其使气体(89)经过探针而从开口排出。

技术领域

本发明涉及一种从检查头向被检查物照射检查用的激光来检查表面的检查系统。

背景技术

在日本特开2007-315821号公报中，记载有一种表面检查装置，利用驱动机构使在前端设有反射镜的轴状的检查头一边绕轴线旋转一边沿着轴线移动，并且利用反射镜改变沿着所述轴线入射至检查头内的检查光的光路，将光路被改变了的检查光向被检查物照射，基于由被检查物反射而再次入射至检查头内的检查光的光量来检测检查物的表面状态，其中，检查头具备：头主体，其安装于驱动机构；以及保持部，其设为能够相对于该头主体装卸且保持反射镜。

发明内容

在具有中空的探针的检查头中，被指出，在检查头的光学系统附着有污物，由于检查精度的降低、污物的去除所需要的时间，而有可能对检查对象物(被检查物)的表面检查造成障碍。

本发明的一技术方案是一种检查系统，该检查系统具有：中空的探针，其沿着中心轴线呈棒状延伸，绕中心轴线旋转；光学系统，其经由探针沿着中心轴线供给检查用的激光，并接收沿着中心轴线返回来的来自被检查物的表面的反射光；光学元件，其借助探针的前端的开口相对于中心轴线使检查用的激光朝向被检查物射出，并且将反射光向中心轴线方向引导；以及气体供给系统，其使气体经过探针而从开口排出。通过向在前端具备开口的探针的内部供给空气等气体并将其从开口排出，从而能够抑制在探针的前端设置的光学元件的污染。而且，能够将经由探针污染光学系统的情况防患于未然。因此，能够保护检查系统免受存在于被检查物或检查对象的表面的灰尘等作为污染的主要原因的污物的影响。因此，根据检查系统，能够高精度地、稳定地进行检查对象物的表面的检查。

检查系统也可以包括：保持件，其支承探针，该保持件被驱动而旋转；内筒部，其为中空，在保持件的内部设为与该保持件同轴状，在与保持件之间配置有轴承单元；以及不旋转的光纤(光纤束)，其借助内筒部插入于探针。气体供给系统也可以包括以避开与轴承单元的干涉而借助内筒部使流体在探针内流通的方式相连的气体供给路径。

检查系统也可以包括：圆筒状的鞘管，其覆盖光纤，并且借助套筒与内筒部连接；和透镜，其安装于鞘管的前端。气体供给路径也可以包括连接路径，该连接路径通过将套筒的局部去除而将内筒部的内部与探针的内侧且是鞘管的外侧的区域连接。

检查系统也可以具有使包括探针的检查头绕中心轴线旋转的驱动单元、例如马达。也可以是，被检查物包括供探针插入的中空部分，该检查系统还具有使探针和被检查物沿着中心轴线相对地移动的移动单元。

附图说明

图1是表示检查装置的概要的立体图。

图2是表示检查装置的概略结构的剖视图(Ⅱ-Ⅱ剖视图)。

图3是表示检查头的概略结构的剖视图，图3的(a)用剖面线表示主要的结构部件，图3的(b)用剖面线表示吹扫用的空气的路径。

图4是放大表示图3所示的检查头的前端的结构的剖视图。

图5是表示贯穿套筒的供给路径的图。

具体实施方式

在图1中，示出了检查装置(检查系统)1的外观，在图2中，用剖面示出了检查装置1的概略的结构。该检查装置(表面检查装置)1适用于检查在被检查物2设置的孔、凹陷等的中空部分3的内表面4的形状或状态。