[发明专利]抗静电性透明光栅

说明书

根据本发明的抗静电性透明光栅具有高透明度，不仅抗静电优异，还具有耐磨性和耐候性优异的效果，以保持高表面硬度的同时，抗冲击性和结构稳定性优异，并且能够保持初始的抗静电特性，即使具有透明复合板和框架结合的结构，也可以从根本上防止当透明复合板从框架拆卸时，透明复合板向框架的下侧坠落的问题的效果，并且具有可以将上述的特征半永久地保持与初期基本相同的水平的效果。

技术领域

本发明涉及一种抗静电性透明光栅。

背景技术

近来，从各种电子设备到工业现场，在各个领域都发生了由于静电造成的损失。

通常，具有带电性的塑料用于半导体工业中的洁净室的地板或分割墙壁区域的隔板，并广泛用于半导体设备的保护罩、医疗行业的医疗设备以及电子产品等的各种用途。

然而，就塑料而言，由于表面电阻大，除了表面产生带电现象(静电)而导致吸附灰尘的问题之外，还由于带电现象(静电)产生火花引起火灾或爆炸而牵涉到工业事故问题，因此在需要超高纯度产品的半导体工业中成了大问题。例如，由于产生几千到几万V的高静电，在要求精度的过程中不可避免地出现大问题。这种问题会增加产品的不良率，并且导致如异物吸附的表面污染问题，不必要的污点问题，对静电和磁场等敏感的半导体和集成电路的缺陷。

为了解决这种问题，有通过在设施内设置如离子发生器的抗静电设备来离子中和静电的方法。然而，这种方法至少需要几秒或更多的时间才能离子中和静电，因此难以有效地控制在瞬间以高水平产生并在几秒内放电的静电。不仅如此，由于这种方法更难以控制在周围可能出现的静电等环境不确定因素引起的问题，因此需要一种可以从根本上阻止周围环境产生静电的方法。

为了解决这种问题，研究了一种使用表面形成有抗静电涂层的塑料等的地板材料或墙壁材料来防止带电现象的技术。作为这种抗静电涂层的材料，由导电有机材料组成的导电涂层溶液、由无机氧化物组成的导电涂层溶液、含有碳的导电涂层方法等以广泛应用于工业现场。然而，含有低分子或高分子导电材料的抗静电涂料溶液具有带点功能的保质期非常短的缺点，并且由于紫外线分解而具有较差的长期抗静电性能。此外，由于氧化铟锡(Indium tin oxide，ITO)、氧化锑锡(Antimony tin oxide，ATO)、银纳米线等的金属基材料制造工艺复杂、成品率低且价格高，因此在大众化的半导体壁或洁净室中实际应用受到限制。此外，为了具有足够的抗静电性能需要大量，当增加量时，会带有颜色且透明度显著降低，因此不利于具有高透光率的应用。此外，炭黑(Carbon black)或多壁碳纳米管(Multiwall Carbon Nanotube，MWCNT)和无机氧化物等必须大量添加以具有所目的的抗静电性能才能实现抗静电功能，在这种情况下也有会产生颗粒或最终产品的颜色和透光率受到影响的缺点。

由于表面形成有抗静电涂层的光栅作为地板材料，应具有优异的抗冲击性和结构稳定性，并且应具有优异的耐磨性，使抗静电涂层能够保持初始的抗静电性能。此外，应具有高透明度，以便可以清楚地看到光栅的下侧。

现有技术文献

专利文献

KR20-0447128Y1(2009.12.17)

KR10-2015-0072549A(2015.06.30)

发明内容

要解决的技术问题

本发明的目的在于，通过包括具有聚合物基离型材料的复合板来提供一种强度和表面硬度优异且高透明度的抗静电优异的透明光栅。

具体地，本发明的目的在于提供一种抗冲击性和结构稳定性优异且耐磨性和耐候性优异的抗静电性透明光栅，以保持表面硬度的同时能够保持初始的抗静电特性。

本发明的另一目的在于提供一种抗静电性透明光栅，即使具有透明复合板结合在框架的结构，也可以从根本上防止当透明复合板从框架拆卸时，透明复合板向框架的下侧坠落的问题。