[发明专利]用于转移设置的对准过程

权利要求书

1.一种将第一衬底与第二衬底对准的方法，其包括：

将具有至少第一对准标记的所述第一衬底定位成紧密接近于具有至少第二对准标记的所述第二衬底；

测量所述第一衬底及所述第二衬底两者的所述第一对准标记与所述第二对准标记之间的对准值；及

基于所述所测量对准值调整所述第一衬底及所述第二衬底的位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其中检测器及信号源位于所述第一衬底上，且转移介质形成于所述第二衬底上。

3.根据权利要求1所述的方法，其中当所述信号源及检测器与所述转移介质对准时，由所述检测器检测的信号被最大化。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述转移介质可以是导电迹线。

5.根据权利要求3所述的方法，其中信号、检测器及转移介质的组合可在不同定向上以辅助不同的未对准信号。

6.根据权利要求1所述的方法，其中两个检测器及信号源位于所述第一衬底上，且转移介质形成于所述第二衬底上。

7.根据权利要求6所述的方法，其中当所述信号源及检测器与所述转移介质对准时，由所述两个检测器检测到传递到所述转移介质的信号。

8.根据权利要求7所述的方法，其中由两个检测器接收的所述信号被均衡且最大化，使得每一检测器、信号及介质组辅助偏移及旋转未对准。

9.根据权利要求8所述的方法，其中更多组可辅助精细调谐未对准信息。

10.根据权利要求8所述的方法，其中未对准信息用于将衬底对准。

11.根据权利要求8所述的方法，其中所述转移介质、所述检测器及所述信号的大小用于界定对准准确度。

12.根据权利要求8所述的方法，其中所述检测器及所述信号的大小用于界定对准准确度。

13.根据权利要求11所述的方法，其中如果所述转移介质的所述大小大于所述检测器或所述信号，那么实施粗略对准。

14.根据权利要求11所述的方法，其中如果所述转移介质的所述大小与所述检测器或所述信号相同，那么实施精细对准。

15.一种将第一衬底与第二衬底对准的方法，其包括：

将具有至少第一对准标记的所述第一衬底定位成紧密接近于具有至少第二对准标记的所述第二衬底；

测量所述第一衬底及所述第二衬底两者的所述第一对准标记与所述第二对准标记之间的对准值；及

基于所述所测量对准值调整所述第一衬底及所述第二衬底的位置。

16.根据权利要求15所述的方法，其中测量所述第一衬底及所述第二衬底两者的所述对准标记之间的所述对准值包括：

在所述衬底的当前位置处提取所述对准值；及

使所述衬底在不同方向上相对于彼此移动以测量所述对准值的改变。

17.根据权利要求16所述的方法，其进一步包括：

将所述对准值与所述对准值的所述改变进行比较；及

基于比较调整所述第一衬底及所述第二衬底的所述位置。

18.根据权利要求16所述的方法，其中基于比较调整所述第一衬底及所述第二衬底的所述位置包括以下各项中的一者：最大化、最小化或均衡每一对准标记的所述对准值，

19.根据权利要求15所述的方法，其中所述第一衬底及所述第二衬底上的所述至少一个对准标记包括金属板或电容板。