[发明专利]真空泵及连结型螺纹槽间隔件在审
申请号: | 202080036455.2 | 申请日: | 2020-05-22 |
公开(公告)号: | CN113840985A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 三枝健吾;吉原菜穗子;大立好伸 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张泽洲;王玮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空泵 连结 螺纹 间隔 | ||
1.一种真空泵,具有外装体、固定零件、西格巴恩泵部、螺纹槽泵部,
前述外装体形成有吸气口或排气口,
前述固定零件内置于前述外装体,
前述真空泵的特征在于,
具备连结型螺纹槽间隔件,前述连结型螺纹槽间隔件具有使前述西格巴恩泵部和前述螺纹槽泵部连结的构造,
在前述连结型螺纹槽间隔件的排气流路面设置沉孔,借助配置于该沉孔的固定螺栓,将前述连结型螺纹槽间隔件和前述外装体或前述固定零件紧固连结。
2.如权利要求1所述的真空泵,其特征在于,
在前述外装体或前述固定零件设置将前述螺纹槽泵部加热的加热机构,
前述固定螺栓被配置成与被前述加热机构加热的前述外装体或前述固定零件的高温部分接触。
3.如权利要求2所述的真空泵,其特征在于,
前述固定螺栓为与铁系的螺栓相比热传导性优异的材质。
4.一种连结型螺纹槽间隔件,被用于具有外装体、固定零件、西格巴恩泵部、螺纹槽泵部的真空泵,前述外装体形成有吸气口或排气口,前述固定零件内置于前述外装体,
前述连结型螺纹槽间隔件的特征在于,
前述连结型螺纹槽间隔件具有使前述西格巴恩泵部和前述螺纹槽泵部连结的构造,
在前述连结型螺纹槽间隔件处,在排气流路面设置有用于固定螺栓的沉孔,借助前述固定螺栓,与前述外装体或前述固定零件紧固连结。
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