[发明专利]真空泵及连结型螺纹槽间隔件

说明书

提供即使借助固定螺栓将连结型螺纹槽间隔件紧固连结也能够防止真空泵的排气性能的下降的真空泵。本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结的构造。将该连结型螺纹槽间隔件紧固连结时，预先在排气流路部设置沉孔，借助固定螺栓与基部紧固连结。通过这样设置，固定螺栓的头部不突出至排气流路，固定螺栓的头部不成为相对于排出气体的阻力。这样，能够抑制真空泵的排气性能下降。

技术领域

本发明涉及真空泵及连结型螺纹槽间隔件。更详细地说，涉及在具有螺纹槽泵部(圆筒螺纹部)和西格巴恩泵部的真空泵中将连结型螺纹槽间隔件紧固连结时抑制固定螺栓导致的排气性能的下降的真空泵及连结型螺纹槽间隔件。

背景技术

以往使用的具有西格巴恩型的结构的西格巴恩型分子泵具备旋转圆板(旋转圆盘)、与该旋转圆板在轴向上具有间隙(空隙)地设置的固定圆板，在该旋转圆板或固定圆板的至少某一方的间隙相向表面刻设有螺旋状槽(也称作螺旋槽或漩涡状槽)流路。并且，是如下真空泵：借助旋转圆板对扩散进入至螺旋状槽流路内的气体分子施加旋转圆板切线方向(即，旋转圆板的旋转方向的切线方向)的运动量，由此借助螺旋状槽从吸气口向排气口赋予优势的方向性来进行排气。

为了将这样的西格巴恩型分子泵、或者具有西格巴恩型分子泵部的真空泵在工业上利用，旋转圆板和固定圆板的级是单级的话压缩比不足所以被多级化。若为了满足所需要的压缩性能而增加级数，则泵自身的大小相应地变大。

此外，多级化的情况下，产生使旋转圆板为半分形状的必要。这样，需要使泵的外筒(壳)变长至覆盖西格巴恩部(西格巴恩泵部)的长度，该情况下泵自身的大小也变大。

此外，具有螺纹槽式泵型的结构的螺纹槽型分子泵、特别是高温化规格的真空泵中，为使螺纹部(螺纹槽部)处的压缩性能变好，使螺纹槽部的长度(螺纹长度)变长或构成为设置有两个以上的多个流路的并行路径类型等来制造。

然而，由于使螺纹长度变长而排气构造的周围构造(壳等)的部分变大，或者由于设为并行路径而复杂的零件增加等，制造成本变大。

图8是用于说明以往的单路径螺纹类型的真空泵的图。

例如，具备流路为一个的单路径螺纹槽间隔件2001的以往的真空泵1001中，欲使压缩性能变好情况下，需要使螺纹槽部的轴向的长度变长。若这样地使螺纹槽部的轴向的长度变长，则需要相应地使基部3变大，所以制造成本变大。

专利文献1：日本特开2017-106365号公报。

专利文献1中，公开了维持螺纹槽泵部的排气性能且实现小型化的连结型螺纹槽间隔件、及配设有该连结型螺纹槽间隔件的真空泵。即，被记载的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结的构造，使作为排气要素部的螺纹槽泵部的构造为在圆筒状螺纹上安装有西格巴恩型的构造的构造，设为在该安装部分各零件连结的结构。即，使西格巴恩部和圆筒状螺纹(螺纹槽泵部)的流路的交界呈从真空泵的轴线方向观察以大致直角的方式相连，将西格巴恩部和螺纹槽泵部的流路相连。借助该结构，使螺纹槽泵部的压缩流路长度由于被连结的西格巴恩部而沿径向延伸。

然而，上述专利文献1中，关于将连结型螺纹槽间隔件例如如何固定于基部未有记载。即，关于连结型螺纹槽间隔件的紧固连结方法不明确。

但是，装配真空泵时，从下侧(排气口侧)逐渐堆积来装配的话装配作业容易。即，将连结型螺纹槽间隔件例如紧固连结于基部时，若能够在连结型螺纹槽间隔件的排气流路部借助固定螺栓紧固连结，则能够从真空泵的上侧进行作业，所以作业中无需使真空泵反转，作业效率提高。

另一方面，若在连结型螺纹槽间隔件的排气流路部设置固定螺栓，则该固定螺栓的头部成为相对于排出气体的阻力，有对真空泵的性能造成影响的可能。

发明内容